[實(shí)用新型]一種無焊疤式電極

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920787028.2
• 申請(qǐng)日: 2019-05-29
• 公開（公告）號(hào): CN209804589U
• 公開（公告）日: 2019-12-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭志偉;廖文晗;陳磊;趙義黨
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 珠海倍力高科科技有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/32
• 分類號(hào): H01J37/32
• 代理公司: 44202 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司
• 代理人: 盧澤明

本實(shí)用新型公開一種無焊疤式電極，安裝固定在真空容器的內(nèi)部，其包括電極主體，電極主體的一端具有第一延伸部和第二延伸部，第一延伸部上設(shè)有外露于真空容器的電極冷卻水進(jìn)口，第二延伸部上設(shè)有外露于真空容器的電極冷卻水出口，電極主體內(nèi)具有容納腔室，容納腔室還設(shè)有多個(gè)間隔設(shè)置的離子穿透槽，相鄰的兩個(gè)離子穿透槽之間設(shè)有水道，離子穿透槽上方設(shè)有第一內(nèi)部流道，離子穿透槽上方設(shè)有第二內(nèi)部流道，容納腔室內(nèi)壁上方間隔設(shè)置第一堵頭，容納腔室內(nèi)壁下方間隔設(shè)置有第二堵頭。本實(shí)用新型可以延長電極的使用壽命，增加設(shè)備生產(chǎn)能力，并且采用無焊縫技術(shù)將電極一體成型制成，表面不存在焊縫，方便清潔，降低生產(chǎn)成本，密封性好，產(chǎn)品合格率高。

【技術(shù)領(lǐng)域】

本實(shí)用新型涉及無焊縫電極技術(shù)領(lǐng)域，具體的，涉及一種無焊疤式電極。

【背景技術(shù)】

由于等離子體的電子密度大小與放電功率有關(guān)，在提高放電功率提高電子密度的同時(shí)也會(huì)導(dǎo)致發(fā)熱量的增大，尤其在低氣壓下，由于空氣稀薄，熱傳導(dǎo)過程大大降低，內(nèi)置電極只能通過輻射的方式向外散熱，熱量的積累將會(huì)使內(nèi)置電極的溫度迅速升高，內(nèi)置電極溫度過高導(dǎo)致等離子體產(chǎn)生系統(tǒng)不穩(wěn)定。

為了解決這個(gè)問題，通常通過更換內(nèi)部電極，將內(nèi)部電極更換為冷卻電極，以降低內(nèi)部電極的溫度。但是，現(xiàn)有的冷卻電極冷卻效果差，不利于冷卻水在電極處循環(huán)流動(dòng)。

并且，目前市面上的等離子電極都采用金屬拼接然后進(jìn)行焊接的工藝，該焊接型電極存在以下幾點(diǎn)缺陷：表面存在較多的焊疤，其焊疤會(huì)影響電極的放電均勻性，從而導(dǎo)致生產(chǎn)出來的產(chǎn)品不合格率增大；在焊接時(shí)會(huì)產(chǎn)生高溫導(dǎo)致金屬材料發(fā)生一個(gè)形變，焊接后的電極精度較差，使在生產(chǎn)過程中容易碰撞到產(chǎn)品；焊接時(shí)受空氣中的細(xì)小粉塵，和一些其它氣體的影響，焊疤里會(huì)存在諸多的雜質(zhì)，型材蜂窩狀的氣孔；在生產(chǎn)過程中與工藝氣體中的腐蝕氣體接觸后，表面被腐蝕露出氣孔導(dǎo)致電極泄露，最終使生產(chǎn)的產(chǎn)品報(bào)廢。

【實(shí)用新型內(nèi)容】

本實(shí)用新型的主要目的是提供一種外形美觀緊湊、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、密封性好、產(chǎn)品合格率高、使用壽命長的無焊疤式電極。

為了實(shí)現(xiàn)上述的主要目的，本實(shí)用新型提供的一種無焊疤式電極，安裝固定在真空容器的內(nèi)部，其包括電極主體，所述電極主體是由多塊鋁制電極板焊接而成的無焊縫電極主體，所述電極主體靠近于所述真空容器頂部的一端具有沿縱向方向延伸的第一延伸部和第二延伸部，所述第一延伸部上設(shè)有外露于所述真空容器的電極冷卻水進(jìn)口，所述第二延伸部上設(shè)有外露于所述真空容器的電極冷卻水出口；所述電極主體內(nèi)具有容納腔室，所述容納腔室還設(shè)有多個(gè)間隔設(shè)置的離子穿透槽，相鄰的兩個(gè)離子穿透槽之間設(shè)有可容納電極冷卻水通過的水道；所述離子穿透槽上方靠近于所述第一延伸部的一側(cè)設(shè)有第一內(nèi)部流道，所述離子穿透槽上方靠近于所述第二延伸部的一側(cè)設(shè)有第二內(nèi)部流道，所述第一內(nèi)部流道與所述第一延伸部相連通，所述第二內(nèi)部流道與所述第二延伸部相連通；所述容納腔室內(nèi)壁上方間隔設(shè)置有預(yù)設(shè)數(shù)量的第一堵頭，所述容納腔室內(nèi)壁下方間隔設(shè)置有預(yù)設(shè)數(shù)量的第二堵頭。

更進(jìn)一步的方案是，所述電極冷卻水依次流向所述電極冷卻水進(jìn)口、所述第一延伸部、所述第一內(nèi)部流道、所述水道、所述第二內(nèi)部流道、所述第二延伸部、所述電極冷卻水出口，其中，所述第一堵頭和所述第二堵頭用于改變所述電極冷卻水的上下水流流動(dòng)方向。

更進(jìn)一步的方案是，所述無焊疤式電極還包括電極固定裝置，所述電極固定裝置位于所述真空容器頂部并與所述第一延伸部、所述第二延伸部固定連接。

更進(jìn)一步的方案是，所述電極主體外側(cè)還設(shè)置有電源連接點(diǎn)。

更進(jìn)一步的方案是，所述真空容器是由前門板、后門板、多塊鋁板之間焊接而成的四周密閉的無焊縫箱體。

由此可見，本實(shí)用新型提供的無焊疤式電極采用了蛇形循環(huán)回路冷卻水供應(yīng)系統(tǒng)，從而可以控制真空容器內(nèi)部的溫度，使冷卻水充分、完全地發(fā)揮了冷卻功效，整體式內(nèi)循環(huán)水冷結(jié)構(gòu)，使電極達(dá)到迅速傳導(dǎo)熱量的作用，延長電極的使用壽命，增加設(shè)備生產(chǎn)能力。