[實用新型]一種退火爐余熱回收裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920775013.4
• 申請日: 2019-05-28
• 公開（公告）號: CN209991800U
• 公開（公告）日: 2020-01-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳科
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫市前洲無縫鋼管有限公司
• 主分類號: F27D17/00
• 分類號: F27D17/00;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種退火爐余熱回收裝置，包括抽煙管道，抽煙管道的一端頭與退火爐的排煙口相連通，抽煙管道的另一端固定連接有余熱回收機構(gòu)，余熱回收機構(gòu)包括換熱箱、水分流盒、水集流盒、氣分流盒、氣集流盒和多個換熱水管，水分流盒和水集流盒分別焊接在換熱箱的底板和頂板上，氣分流盒和氣集流盒分別焊接在換熱箱的左側(cè)板和右側(cè)板上，多個換熱水管豎直設(shè)置在換熱箱的內(nèi)腔中，換熱水管的兩端分別聯(lián)通水分流盒和水集流盒，氣分流盒和氣集流盒均通過多個均勻設(shè)置的通氣孔與換熱箱的內(nèi)腔相連通，氣分流盒與抽煙管道相連通。本實用新型可同時對多個退火爐進行預(yù)熱回收，可充分進行余熱回收利用，提高利用率，節(jié)約能源。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及退火爐余熱利用技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種退火爐余熱回收裝置。

背景技術(shù)

退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設(shè)計的。可以加熱晶片以激活摻雜劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長的薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，移動摻雜劑或?qū)诫s劑從一個薄膜轉(zhuǎn)移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底。

現(xiàn)有的退火爐在使用時排出有高溫煙氣，高溫煙氣經(jīng)管道排出外接環(huán)境中，導(dǎo)致大量熱能喪失，也存在一些換熱裝置對高溫煙氣進行換熱，然而這些換熱裝置大都不能進行充分的換熱。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種退火爐余熱回收裝置，可同時對多個退火爐進行預(yù)熱回收，可對退火爐排出的高溫煙氣進行充分換熱，進行余熱回收利用，提高利用率，節(jié)約能源，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：

一種退火爐余熱回收裝置，包括抽煙管道，所述抽煙管道的一端頭與退火爐的排煙口相連通，所述抽煙管道的另一端固定連接有余熱回收機構(gòu)；

所述余熱回收機構(gòu)包括換熱箱、水分流盒、水集流盒、氣分流盒、氣集流盒和多個換熱水管，所述水分流盒和所述水集流盒分別焊接在所述換熱箱的底板和頂板上，所述氣分流盒和所述氣集流盒分別焊接在所述換熱箱的左側(cè)板和右側(cè)板上，多個所述換熱水管豎直設(shè)置在所述換熱箱的內(nèi)腔中，所述換熱水管的兩端分別聯(lián)通所述水分流盒和所述水集流盒，所述氣分流盒和所述氣集流盒均通過多個均勻設(shè)置的通氣孔與所述換熱箱的內(nèi)腔相連通，所述氣分流盒與所述抽煙管道相連通，所述水分流盒與進水管相連通，所述氣集流盒通過管道連接有抽氣泵，所述水集流盒通過管道連接有儲水箱。

優(yōu)選的，所述抽煙管道上固定安裝有多個膨脹節(jié)。

優(yōu)選的，所述換熱水管設(shè)置有至少三個，且所述換熱水管呈螺旋狀結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述儲水箱為雙層結(jié)構(gòu)，且所述儲水箱的夾層中設(shè)置有石棉保溫層。

優(yōu)選的，所述儲水箱的底部設(shè)置有出水管，所述出水管上固定安裝有閥門。

優(yōu)選的，所述儲水箱的底部固定焊接有支撐腿。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：

1、通過抽煙管道通過多個分支連接管，可與多個退火爐相連通，可同時對多個退火爐進行預(yù)熱回收；

2、通過換熱箱、水分流盒、水集流盒、氣分流盒、氣集流盒和多個換熱水管的配合，可對退火爐排出的高溫煙氣進行充分換熱，換熱后的熱水儲存在儲水箱中，進行余熱回收利用，提高利用率，節(jié)約能源。

附圖說明

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型的余熱回收機構(gòu)的剖視示意圖；

圖3為本實用新型的儲水箱的剖視示意圖。