[實(shí)用新型]一種單晶爐排氣管道及單晶爐有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201920774843.5 | 申請(qǐng)日： | 2019-05-27 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN211522363U | 公開(kāi)（公告）日： | 2020-09-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 陳海云 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 寧夏隆基硅材料有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C30B15/00 | 分類號(hào)： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京潤(rùn)澤恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11319 | 代理人： | 莎日娜 |
| 地址： | 755199 寧夏回*** | 國(guó)省代碼： | 寧夏;64 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 單晶爐 排氣 管道 | ||
1.一種單晶爐排氣管道，其特征在于，
所述排氣管道的內(nèi)壁至少部分具有隔熱體，所述隔熱體的導(dǎo)熱系數(shù)小于所述排氣管道的導(dǎo)熱系數(shù)；
所述隔熱體為隔熱襯套或隔熱涂層，所述隔熱襯套與所述排氣管道可拆卸地連接，所述隔熱涂層設(shè)置在所述排氣管道的內(nèi)壁；
所述隔熱涂層為氧化鋯、陶瓷微珠中任意一種涂層；
所述隔熱襯套的材質(zhì)包括石英玻璃、石墨氈、碳?xì)种腥我庖环N；
所述隔熱襯套包括相連接的內(nèi)襯與凸緣；
所述內(nèi)襯與所述排氣管道的內(nèi)壁接觸，所述凸緣處于所述排氣管道的開(kāi)口位置；
所述隔熱襯套的厚度至少為2mm，所述隔熱襯套的長(zhǎng)度至少為0.5m；
所述隔熱涂層的厚度至少為1mm，所述隔熱涂層的長(zhǎng)度至少為0.5m。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排氣管道，其特征在于，
所述排氣管道包括同軸安裝的內(nèi)套管和外套管，所述內(nèi)套管的外徑小于所述外套管的內(nèi)徑，所述內(nèi)套管的外壁和所述外套管的內(nèi)壁之間具有間隙。
3.一種單晶爐，其特征在于，所述單晶爐包括權(quán)利要求1至2任一項(xiàng)所述的排氣管道，所述排氣管道貫穿所述單晶爐的底板。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的單晶爐，其特征在于，所述隔熱體從所述單晶爐的內(nèi)腔延伸至外部，所述隔熱體的長(zhǎng)度至少大于所述單晶爐的底板的厚度。
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