[實用新型]一種鈣鈦礦薄膜生長過程原位形貌及光譜分析儀

有效

• 申請號: 201920774689.1
• 申請日: 2019-05-27
• 公開（公告）號: CN210123398U
• 公開（公告）日: 2020-03-03
• 發明（設計）人: 孫陽;郭艷如;袁帥;艾希成;付立民;秦玉軍
• 申請（專利權）人: 中國人民大學
• 主分類號: G01N21/31
• 分類號: G01N21/31;G01N21/84;H01L21/66
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司 11245
• 代理人: 冀志華

1.一種鈣鈦礦薄膜生長過程原位形貌及光譜分析儀，其特征在于其包括：閃光氙燈、閃光氙燈控制器、光路轉換組件、旋涂儀、光纖光譜儀和數據處理終端；

所述閃光氙燈與所述閃光氙燈控制器連接，所述閃光氙燈控制器對所述閃光氙燈的光強和頻率進行調節；

所述光路轉換組件設置在所述閃光氙燈的出射光路上，對光源方向進行調整，使得光線照射在位于所述旋涂儀上的鈣鈦礦薄膜樣品上；

所述光纖光譜儀的光纖接收器設置在經所述鈣鈦礦薄膜樣品反射后的光路上，對所述鈣鈦礦薄膜樣品的吸收光譜進行檢測，檢測數據發送到所述數據處理終端。

2.如權利要求1所述的一種鈣鈦礦薄膜生長過程原位形貌及光譜分析儀，其特征在于：所述分析儀還包括一CCD相機，所述CCD相機固定設置在所述旋涂儀的正上方，對所述旋涂儀上方設置的鈣鈦礦薄膜樣品進行實時原位成像，并發送到所述數據處理終端；其中，所述CCD相機的錄像幀數為30-160FPS。

3.如權利要求1所述的一種鈣鈦礦薄膜生長過程原位形貌及光譜分析儀，其特征在于：所述光路轉換組件包括第一反光鏡組件、第二反光鏡組件和凸透鏡組件；

所述第一反光鏡組件設置在所述閃光氙燈的出射光路上，對所述閃光氙燈出射的白光脈沖的高度進行調整；

所述第二反光鏡組件設置在所述第一反光鏡組件的出射光路上，用于將水平方向的白光脈沖調整為與水平面呈預設夾角的白光脈沖；

所述凸透鏡組件設置在所述第二反光鏡組件的出射光路上，用于將與水平面呈預設夾角的白光脈沖進行聚焦后照射在位于所述旋涂儀上的鈣鈦礦薄膜樣品上。

4.如權利要求3所述的一種鈣鈦礦薄膜生長過程原位形貌及光譜分析儀，其特征在于：所述第一反光鏡組件與閃光氙燈的間距不大于30cm。

5.如權利要求3所述的一種鈣鈦礦薄膜生長過程原位形貌及光譜分析儀，其特征在于：所述第一反光鏡組件包括第一固定桿、第一反光鏡和第二兩反光鏡，所述第一反光鏡和第二反光鏡通過旋轉接頭可旋轉地并排設置在所述第一固定桿上，所述第一反光鏡將所述閃光氙燈的光源方向調整為垂直水平面向上，所述第二反光鏡將垂直水平面向上的光線調整為水平方向后進入所述第二反光鏡組件。

6.如權利要求5所述的一種鈣鈦礦薄膜生長過程原位形貌及光譜分析儀，其特征在于：所述第二反光鏡組件包括第二固定桿和第三反光鏡，所述第三反光鏡通過旋轉接頭設置在所述第二固定桿上，且所述第三反光鏡設置在所述第二反光鏡的出射光路上，用于將水平方向的白光脈沖調整為與水平面呈預設夾角的范圍為30°-60°。

7.如權利要求6所述的一種鈣鈦礦薄膜生長過程原位形貌及光譜分析儀，其特征在于：所述凸透鏡組件包括第三固定桿和凸透鏡，所述凸透鏡通過旋轉接頭設置在所述第三固定桿上，所述凸透鏡設置在所述第三反光鏡的出射光路上。

8.如權利要求1所述的一種鈣鈦礦薄膜生長過程原位形貌及光譜分析儀，其特征在于：所述光纖光譜儀采用型號為AvaSpec-ULS2048，能夠接收顯示300nm-1100nm波長的光強。

9.如權利要求1所述的一種鈣鈦礦薄膜生長過程原位形貌及光譜分析儀，其特征在于：所述閃光氙燈的可調頻率范圍為0.1-100HZ。

10.如權利要求1所述的一種鈣鈦礦薄膜生長過程原位形貌及光譜分析儀，其特征在于：所述鈣鈦礦薄膜樣品包括玻璃基板和設置在玻璃基板上的鈣鈦礦薄膜層，所述玻璃基板底面蒸鍍有一層厚為100nm的銀。