[實用新型]一種蒸發舟調節機構、加熱裝置及蒸鍍機有效

申請號：	201920773266.8	申請日：	2019-05-27
公開（公告）號：	CN210122589U	公開（公告）日：	2020-03-03
發明（設計）人：	范光華;高崇	申請（專利權）人：	江蘇集萃有機光電技術研究所有限公司
主分類號：	C23C14/24	分類號：	C23C14/24
代理公司：	北京品源專利代理有限公司 11332	代理人：	胡彬
地址：	215000 江蘇省蘇***	國省代碼：	江蘇;32
權利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：
搜索關鍵詞：	一種蒸發調節機構加熱裝置蒸鍍機
鉆瓜網技術展會專利詞庫專利權人專利榜在售專利公布日期熱門專利

【說明書】：

本實用新型涉及OLED制造技術領域，公開了一種蒸發舟調節機構、加熱裝置及蒸鍍機。蒸發舟調節機構包括安裝組件，安裝組件包括夾持部和緊固件，夾持部具有一貫通結構，允許蒸發舟的一端在夾持部的貫通結構內滑動到預期位置，并由緊固件固定，自由滑動的蒸發舟能帶動蒸發源一起移動，擴大了蒸發舟的移動距離，能夠適應更大范圍的不同面積的OLED器件，且結構簡單，調節方便。本實用新型提供的加熱裝置包括上述的蒸發舟調節機構，提供的蒸鍍機包括上述的加熱裝置。

技術領域

本實用新型涉及OLED制造技術領域，尤其涉及一種蒸發舟調節機構、加熱裝置及蒸鍍機。

背景技術

OLED作為一種新型顯示及照明技術，應用市場前景廣闊。目前，OLED器件的制備仍以蒸鍍為主，工業界已實現線源蒸鍍機，但學校及實驗室科研仍以小型點源蒸鍍機為主，該機操作簡單，實驗效率高。使用小型蒸鍍機制備器件時，在實驗前需要針對不同發光面積的器件標定膜厚均一性，膜層厚度的均一性對器件的性能影響極大。

在現有技術中，一種蒸鍍方式是把基片直接放置在托盤轉軸正下方，不但不能一次蒸鍍多種結構的基片或多個基片，還只能標定一次膜厚，浪費材料，實驗效率低。另一種蒸鍍方式是把基片放置在托盤轉軸的周邊，雖然可以一次蒸鍍多種結構的基片或多個基片，但針對制備不同發光面積的基片，需分別標定膜厚均一性，在標定膜厚均一性時，蒸發源可移動的距離有限，所以在標定膜厚均一性時，費時費力。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種蒸發舟調節機構、加熱裝置及蒸鍍機，擴大了蒸發源的移動距離，能夠適應更大范圍的不同面積的OLED器件。

為達此目的，本實用新型采用以下技術方案：

一種蒸發舟調節機構，包括安裝組件，所述安裝組件包括夾持部和緊固件，所述夾持部具有一貫通結構，允許蒸發舟的一端在所述夾持部的所述貫通結構內滑動到預期位置，并由所述緊固件固定。

優選地，還包括測量組件，所述測量組件包括設置在所述蒸發舟表面上的第一刻度，及設置于所述夾持部上與所述第一刻度相對應的第一指針，用于記錄所述蒸發舟的相對位置。

優選地，還包括導軌，所述安裝組件滑動設置于所述導軌上，所述導軌上設有第二刻度，所述夾持部上設有與所述第二刻度相對應的第二指針。

優選地，所述夾持部包括支撐塊，所述貫通結構為穿設于所述支撐塊的第一通槽；

所述支撐塊上穿設有與第一通槽連通的螺紋孔，所述緊固件包括與所述螺紋孔相匹配的第一螺栓，所述第一螺栓的一端穿過所述螺紋孔抵接在所述蒸發舟上。

優選地，所述支撐塊的一側面開有與所述第一通槽連通的開口，所述蒸發舟的一端能夠通過所述開口置于所述第一通槽內。

優選地，還包括電極柱，所述夾持部與所述電極柱電連接，且所述夾持部固定設置在所述電極柱上。

優選地，還包括電極柱，所述導軌固定設置在所述電極柱上，且所述夾持部與所述電極柱電連接。

一種加熱裝置，包括上述的蒸發舟調節機構，還包括蒸發舟和電極柱，所述電極柱包括第一電極柱和第二電極柱，所述蒸發舟的一端通過所述安裝組件與所述第二電極柱連接，所述蒸發舟的另一端通過所述安裝組件與所述第一電極柱連接。