[實用新型]一種薄膜腔聲諧振濾波器

有效

• 申請號: 201920749416.1
• 申請日: 2019-05-23
• 公開（公告）號: CN209897019U
• 公開（公告）日: 2020-01-03
• 發明（設計）人: 黃向向;楊敏;道格拉斯·雷·斯巴克斯;關健
• 申請（專利權）人: 罕王微電子(遼寧)有限公司
• 主分類號: H03H9/56
• 分類號: H03H9/56;H03H9/58;H03H3/02
• 代理公司: 21001 沈陽晨創科技專利代理有限責任公司
• 代理人: 張晨

1.一種薄膜腔聲諧振濾波器，其特征在于：所述的薄膜腔聲諧振濾波器，包括器件主部分(1)，蓋帽部分(2)，第一層金屬層(3)，壓電層(4)，金屬層(5)，第二層壓電層(6)，鍵合金屬(7)，吸氣薄膜(8)，通孔部分(9)，焊接凸點(10)，腔體一(11)，腔體二(12)；

其中：蓋帽部分(2)內部上面設置有吸氣薄膜(8)，蓋帽部分(2)上帶有通孔部分(9)，焊接凸點(10)位于通孔部分(9)上方；第二層壓電層(6)、金屬層(5)和鍵合金屬(7)設置在器件主部分(1)和蓋帽部分(2)之間，器件主部分(1)和蓋帽部分(2)之間通過鍵合工藝結合在一起；第一層金屬層(3)和壓電層(4)設置在器件主部分(1)上，腔體一(11)位于器件主部分(1)內，腔體二(12)位于蓋帽部分(2)內，均為刻蝕工藝形成。

2.按照權利要求1所述的薄膜腔聲諧振濾波器，其特征在于：所述的器件主部分(1)為硅晶圓、CMOS集成電路、玻璃晶圓、或是SOI晶圓；蓋帽部分(2)為硅晶圓、玻璃晶圓或SOI晶圓；玻璃晶圓：蓋帽部分能是玻璃晶圓，在玻璃晶圓蓋帽內部對著CMOS晶圓部分沉積金屬；通孔部分(9)時，通孔能是垂直的，也能做成有帶有傾斜角度的斜面結構。