[實用新型]一種高純鎵的脫氧及雜質去除裝置

有效

• 申請號: 201920744359.8
• 申請日: 2019-05-22
• 公開（公告）號: CN210736954U
• 公開（公告）日: 2020-06-12
• 發明（設計）人: 周曉霞;于洪國;焦雪梅;董娓;袁澤海;曲駿;趙靜敏
• 申請（專利權）人: 有研光電新材料有限責任公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00;C30B29/42
• 代理公司: 北京辰權知識產權代理有限公司 11619
• 代理人: 佟林松

1.一種高純鎵的脫氧及雜質去除裝置，其特征在于，包括單側開口的石英管(1)、用于盛放待提純鎵的石英舟、真空法蘭(2)和兩端均開口的兩座可移動式高溫加熱爐(3)，所述石英舟位于所述石英管(1)內，所述真空法蘭(2)與所述石英管(1)的開口固定連接，所述兩座可移動式高溫加熱爐(3)分別套于所述石英管(1)的外部兩端；

每座可移動式高溫加熱爐(3)均包括雙層加熱爐筒(310)、半圓弧形爐托板(320)和可移動支架車，所述雙層加熱爐筒(310)懸托于所述半圓弧形爐托板(320)的弧形槽內，所述半圓弧形爐托板與所述可移動支架車固定，每對所述雙層加熱爐筒(310)和所述半圓弧形爐托板(320)均設有相互連通的爐內溫度測量熱電偶接口(3110)以及爐內加熱器接口(3120)。

2.如權利要求1所述的脫氧及雜質去除裝置，其特征在于，

所述雙層加熱爐筒(310)包括上半圓弧形外爐殼、下半圓弧形外爐殼和內加熱爐，所述上半圓弧形外爐殼和所述下半圓弧形外爐殼的兩側均設置有連接耳，所述上、下半圓弧形外爐殼通過對應的連接耳扣合形成外爐殼。

3.如權利要求2所述的脫氧及雜質去除裝置，其特征在于，

外爐殼罩于所述內加熱爐外，所述外爐殼與所述內加熱爐之間設有保溫層，所述內加熱爐的表面纏繞有加熱絲(3130)，所述加熱絲(3130)位于所述內加熱爐和所述保溫層之間。

4.如權利要求2所述的脫氧及雜質去除裝置，其特征在于，

所述下半圓弧形爐殼的兩側連接耳一一對應地搭接在所述半圓弧形護托板(320)的兩端，使所述雙層加熱爐筒(310)懸托于所述半圓弧形爐托板(320)的弧形槽內。

5.如權利要求1所述的脫氧及雜質去除裝置，其特征在于，

所述可移動支架車包括至少一對間隔設置兩個支架和可移動板車，所述兩個支架高低可調地與所述可移動板車連接，所述圓弧形爐托板(320)的兩端分別與所述兩個支架一一對應掛接。

6.如權利要求5所述的脫氧及雜質去除裝置，其特征在于，

所述圓弧形爐托板(320)的兩端分別設有向所述弧形槽外折彎并延伸的邊沿，所述邊沿設有搭接孔。