[實(shí)用新型]一種晶圓片儲(chǔ)存盒

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920736782.3
• 申請(qǐng)日: 2019-05-22
• 公開（公告）號(hào): CN210175454U
• 公開（公告）日: 2020-03-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曹暉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 揚(yáng)州億芯微電子有限公司
• 主分類號(hào): B65D25/10
• 分類號(hào): B65D25/10;B65D25/02
• 代理公司: 北京連和連知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11278
• 代理人: 奚衡寶

本實(shí)用新型公開了一種晶圓片儲(chǔ)存盒，包括盒體和底板，所述盒體的底端內(nèi)側(cè)焊接有底板，所述底板的內(nèi)部嵌設(shè)有多個(gè)放置臺(tái)，且多個(gè)放置臺(tái)上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有兩個(gè)卡扣，并且兩個(gè)卡扣關(guān)于安裝塊的中線中心對(duì)稱設(shè)置。本實(shí)用新型中，通過將吸盤底部的安裝塊連帶放置臺(tái)向下進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，底板上開設(shè)的通孔邊緣對(duì)卡扣進(jìn)行向內(nèi)側(cè)的推擠，進(jìn)而使得卡扣卡接在安裝塊的卡槽中，從而對(duì)安裝塊的位置進(jìn)行限制，通過底部的擠壓彈簧對(duì)卡塊的位置限制，保證了結(jié)構(gòu)的安全性，并且由于吸盤和放置臺(tái)之間為自由組合關(guān)系，使得盒體內(nèi)部的放置可調(diào)，使得可以同時(shí)進(jìn)行不同尺寸的硅圓片的放置。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及硅圓片運(yùn)輸技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓片儲(chǔ)存盒。

背景技術(shù)

硅晶圓：晶圓便是硅元素加以純化，接著是將這些純硅制成長(zhǎng)硅晶棒，成為制造積體電路的石英半導(dǎo)體的材料，經(jīng)過照相制版，研磨，拋光，切片等程序，將多晶硅融解拉出單晶硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的晶圓。

然而現(xiàn)有的硅圓片存放盒在使用過程中仍然存在不足之處，現(xiàn)有的硅圓片存放盒大多使用泡沫等進(jìn)行防沖擊、防損壞保護(hù)，硅圓片仍然存在自由移動(dòng)的可能，安全性較低；并且現(xiàn)有的硅圓片存放盒大多內(nèi)部?jī)?chǔ)存方式不可調(diào)，導(dǎo)致對(duì)于不同大小的硅圓片存放較為不便。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于：為了解決現(xiàn)有硅圓片存放安全性不高及存放方式狹隘的問題，而提出的一種晶圓片儲(chǔ)存盒。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了如下技術(shù)方案：

一種晶圓片儲(chǔ)存盒，包括盒體和底板，所述盒體的底端內(nèi)側(cè)焊接有底板，所述底板的內(nèi)部嵌設(shè)有多個(gè)放置臺(tái)，且多個(gè)放置臺(tái)上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有兩個(gè)卡扣，并且兩個(gè)卡扣關(guān)于安裝塊的中線中心對(duì)稱設(shè)置，所述多個(gè)放置臺(tái)的底端內(nèi)部均嵌設(shè)有兩個(gè)卡塊，且兩個(gè)卡塊關(guān)于放置臺(tái)的中線中心對(duì)稱設(shè)置，并且兩個(gè)卡塊均通過擠壓彈簧與放置臺(tái)彈性連接。

作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

所述多個(gè)放置臺(tái)呈矩形陣列設(shè)置。

作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

所述卡扣均通過扭簧轉(zhuǎn)軸與放置臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，并且卡扣呈縱截面L形結(jié)構(gòu)。

作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

所述多個(gè)放置臺(tái)中部分的頂部均設(shè)置有安裝塊，且安裝塊均通過開設(shè)的卡槽與卡扣卡接。

作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

所述安裝塊遠(yuǎn)離放置臺(tái)的一端固定連接有吸盤，并且安裝塊的底端連通有抽氣管。

作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

所述盒體的底部嵌設(shè)有保護(hù)板。

綜上所述，由于采用了上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型的有益效果是：

1、本實(shí)用新型中，通過將吸盤底部的安裝塊連帶放置臺(tái)向下進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，底板上開設(shè)的通孔邊緣對(duì)卡扣進(jìn)行向內(nèi)側(cè)的推擠，進(jìn)而使得卡扣卡接在安裝塊的卡槽中，從而對(duì)安裝塊的位置進(jìn)行限制，通過底部的擠壓彈簧對(duì)卡塊的位置限制，保證了結(jié)構(gòu)的安全性，并且由于吸盤和放置臺(tái)之間為自由組合關(guān)系，使得盒體內(nèi)部的放置可調(diào)，使得可以同時(shí)進(jìn)行不同尺寸的硅圓片的放置。

2、本實(shí)用新型中，在對(duì)硅圓片進(jìn)行儲(chǔ)存時(shí)，先對(duì)吸盤進(jìn)行位置的安裝，完成安裝后，將硅圓片放置在吸盤的頂部，將抽氣管的自由端與抽氣泵進(jìn)行對(duì)接后，啟動(dòng)抽氣泵，精確控制內(nèi)部氣壓，使得吸盤不會(huì)對(duì)硅圓片造成傷害的同時(shí)，對(duì)硅圓片進(jìn)行吸附作用，從而保證了硅圓片的放置穩(wěn)定，不會(huì)在運(yùn)載過程中發(fā)生滑動(dòng)，提升裝置的安全性。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型提出的一種晶圓片儲(chǔ)存盒的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型提出的一種晶圓片儲(chǔ)存盒的縱剖結(jié)構(gòu)示意圖；