[實用新型]一種全自動濺鍍裝置

有效

• 申請號: 201920728459.1
• 申請日: 2019-05-21
• 公開（公告）號: CN210314466U
• 公開（公告）日: 2020-04-14
• 發明（設計）人: 陳道理
• 申請（專利權）人: 盱眙新遠光學科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型提供一種全自動濺鍍裝置，包括：濺鍍倉，所述濺鍍倉上端設有上固定板、下端設有下固定板，下固定板安裝在設備支架上，所述上固定板上設有陽極電極、所述下固定板上設有陰極電極，所述陽極電極通過陽極電極固定支架安裝在上固定板，陰極電極通過陰極電極固定支架安裝在下固定板上，所述濺鍍倉一側設有濺鍍氣體入口、另一側設有抽真空排出口，所述濺鍍倉內設有濺鍍件固定支架，濺鍍件固定支架一端安裝在旋轉電機上，所述旋轉電機通過電機固定座安裝在濺鍍倉內。本實用新型，可以對濺鍍件進行立體濺鍍，大大提高了自動化程度，而且，特別適用于中空物件的濺鍍，可以提高濺鍍效率。

技術領域

本實用新型涉及濺鍍技術領域，具體為一種全自動濺鍍裝置。

背景技術

濺鍍是指在真空環境下，通入適當的惰性氣體作為媒介，靠惰性氣體加速撞擊靶材，使靶材表面原子被撞擊出來，并在表面形成鍍膜。以幾十電子伏特或更高動能的荷電粒子轟擊材料表面，使其濺射出進入氣相，可用來刻蝕和鍍膜。入射一個離子所濺射出的原子個數稱為濺射產額(Yield)產額越高濺射速度越快，以Cu,Au,Ag等最高，Ti,Mo,Ta,W等最低。一般在0.1-10原子/離子。離子可以直流輝光放電(glow discharge)產生，在10-1—10Pa真空度，在兩極間加高壓產生放電，正離子會轟擊負電之靶材而濺射也靶材，而鍍至被鍍物上。但是，目前的濺鍍裝置其工件夾具通常放置在底部，這就導致濺鍍效率低，自動化程度低。

實用新型內容

本實用新型所解決的技術問題在于提供一種全自動濺鍍裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

本實用新型所解決的技術問題采用以下技術方案來實現：一種全自動濺鍍裝置，包括：濺鍍倉，所述濺鍍倉上端設有上固定板、下端設有下固定板，下固定板安裝在設備支架上，所述上固定板上設有陽極電極、所述下固定板上設有陰極電極，所述陽極電極通過陽極電極固定支架安裝在上固定板，陰極電極通過陰極電極固定支架安裝在下固定板上，所述濺鍍倉一側設有濺鍍氣體入口、另一側設有抽真空排出口，所述濺鍍倉內設有濺鍍件固定支架，濺鍍件固定支架一端安裝在旋轉電機上，所述旋轉電機通過電機固定座安裝在濺鍍倉內。

所述陰極電極固定支架外側設有密封絕緣襯墊，密封絕緣襯墊安裝在下固定板上。

所述濺鍍氣體入口上安裝有電磁閥，濺鍍氣體入口通過輸送管連接于濺鍍氣體存儲罐，濺鍍氣體存儲罐安裝在上固定板上。

所述抽真空排出口連接于抽真空泵，所述抽真空泵安裝在真空泵安裝支架上，所述真空泵安裝支架安裝在下固定板上。

所述濺鍍件固定支架包括左夾緊桿、右夾緊桿，所述左夾緊桿、右夾緊桿交叉設置，所述左夾緊桿、右夾緊桿中部提高旋轉銷安裝固定，所述左夾緊桿、右夾緊桿上端之間設有雙頭氣缸，所述雙頭氣缸的輸出軸通過旋轉銷安裝在左夾緊桿、右夾緊桿上端，所述雙頭氣缸的缸體一側上設有支架固定桿，支架固定桿安裝在旋轉電機的輸出軸上，所述左夾緊桿、右夾緊桿兩端外側設有防刮襯墊，所述防刮襯墊可拆卸的安裝在左夾緊桿、右夾緊桿上。

所述防刮襯墊安裝在襯墊固定座上，所述左夾緊桿、右夾緊桿兩端設有固定孔，襯墊固定座通過固定卡環可拆卸的安裝在左夾緊桿、右夾緊桿上。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：本實用新型，可以對濺鍍件進行立體濺鍍，大大提高了自動化程度，而且，特別適用于中空物件的濺鍍，可以提高濺鍍效率。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

圖2為本實用新型的濺鍍件固定支架結構示意圖。

具體實施方式