[實用新型]一種III-V化合物半導體圓片轉移工具

有效

• 申請號: 201920727778.0
• 申請日: 2019-05-21
• 公開（公告）號: CN209747487U
• 公開（公告）日: 2019-12-06
• 發明（設計）人: 何偉煒;楊明;印文健
• 申請（專利權）人: 眾瑞速聯(武漢)科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 11340 北京天奇智新知識產權代理有限公司
• 代理人: 楊文錄<國際申請>=<國際公布>=<進入

1.一種III-V化合物半導體圓片轉移工具，其特征在于：包括右護欄(100)、左護欄(120)、后護欄(130)、連接柱(200)、主底條板(300)、副底條板(330)、擋板(400)和楔面板(500)，所述右護欄(100)的后側壁一體成型連接所述后護欄(130)，所述左護欄(120)的前側壁一體成型連接所述左護欄(120)，所述后護欄(130)的前側壁粘接所述連接柱(200)，所述左護欄(120)的內腔右側壁粘接有主底條板(300)，所述右護欄(100)的內腔左側壁粘接有副底條板(330)，所述右護欄(100)和所述左護欄(120)的前側壁插接所述擋板(400)，所述右護欄(100)和所述左護欄(120)的內側插接有楔面板(500)，所述右護欄(100)和所述左護欄(120)的左右側壁開設有凹槽(110)，所述連接柱(200)的頂部粘接有連接栓(210)，所述連接柱(200)的圓周內壁插接有連接桿(220)，所述主底條板(300)的頂部粘接有插柱(310)和頂珠(320)，所述擋板(400)的右側壁粘接有限位板(410)，所述楔面板(500)底部一體成型連接有插槽(510)和頂珠槽(520)，所述楔面板(500)的頂部粘接有弧板(530)。

2.根據權利要求1所述的一種III-V化合物半導體圓片轉移工具，其特征在于：所述副底條板(330)的結構和所述主底條板(300)的結構相同。

3.根據權利要求1所述的一種III-V化合物半導體圓片轉移工具，其特征在于：所述弧板(530)的材質為防腐橡膠板。

4.根據權利要求1所述的一種III-V化合物半導體圓片轉移工具，其特征在于：所述右護欄(100)、所述左護欄(120)、所述后護欄(130)和所述楔面板(500)的材質為聚四氟乙烯材料。