[實用新型]一種砷化鎵的多晶合成裝置

有效

• 申請號: 201920727199.6
• 申請日: 2019-05-21
• 公開（公告）號: CN210215615U
• 公開（公告）日: 2020-03-31
• 發明（設計）人: 代曉波
• 申請（專利權）人: 獨山中科晶元信息材料有限公司
• 主分類號: C30B29/42
• 分類號: C30B29/42;C30B28/06
• 代理公司: 北京輕創知識產權代理有限公司 11212
• 代理人: 談杰

1.一種砷化鎵的多晶合成裝置，包括爐膛(2)和反應容器(4)，其特征在于：所述爐膛(2)前后兩側沿豎直方向固定有多個電加熱器(202)，所述爐膛(2)底部內側固定連接有固定夾板(201)，且所述固定夾板(201)中部設置有圓形開口，所述爐膛(2)頂部兩側內壁均固定有側板(1)，所述側板(1)均豎直開設有導槽(101)，兩個所述導槽(101)相對的側面開口，所述導槽(101)另一側面開設有多個水平朝向的限位孔(102)，且多個所述限位孔(102)沿豎直方向均勻分布，所述導槽(101)內滑動配合有下壓組件(3)，所述下壓組件(3)中部設置有與所述固定夾板(201)的圓形開口上下對應的圓形開口，且與所述固定夾板(201)之間豎直可拆卸固定有所述反應容器(4)。

2.根據權利要求1所述一種砷化鎵的多晶合成裝置，其特征在于：所述下壓組件(3)包括滑座(302)和活動夾板(301)，所述滑座(302)與所述導槽(101)滑動配合，所述滑座(302)之間水平固定有所述活動夾板(301)，所述活動夾板(301)中部設置有與所述固定夾板(201)的圓形開口上下對應的圓形開口，所述滑座(302)開設有水平朝向的安裝槽(303)，所述安裝槽(303)內設置有壓簧(306)，所述壓簧(306)一端與所述安裝槽(303)固定連接，所述壓簧(306)另一端固定有套環(305)，所述套環(305)內側水平固定有拉桿(304)，且所述拉桿(304)與所述壓簧(306)和所述滑座(302)均間隙配合，所述拉桿(304)伸出所述滑座(302)的一端固定有手柄(307)，所述拉桿(304)另一端與其中一個所述限位孔(102)滑動配合。

3.根據權利要求1所述一種砷化鎵的多晶合成裝置，其特征在于：所述反應容器(4)包括上腔(403)、下腔(406)和縮頸部(405)，所述上腔(403)和所述下腔(406)通過所述縮頸部(405)豎直連接為一整體，且所述縮頸部(405)的徑向尺寸小于所述上腔(403)和所述下腔(406)的徑向尺寸，所述上腔(403)的頂端和所述下腔(406)的底端均固定連接有半球形密封帽(401)，且所述半球形密封帽(401)分別部分陷入所述固定夾板(201)和所述下壓組件(3)的圓形開口，所述上腔(403)底部內壁固定有貫通托架(404)，且所述貫通托架(404)底部伸入所述縮頸部(405)內，所述貫通托架(404)內豎直固定有承載容器(402)。

4.根據權利要求2所述一種砷化鎵的多晶合成裝置，其特征在于：所述套環(305)與所述拉桿(304)過盈配合，所述手柄(307)表面開設防滑紋。

5.根據權利要求3所述一種砷化鎵的多晶合成裝置，其特征在于：所述半球形密封帽(401)的中部外緣與所述固定夾板(201)和所述下壓組件(3)的圓形開口內壁貼合。

6.根據權利要求1所述一種砷化鎵的多晶合成裝置，其特征在于：所述導槽(101)為燕尾型槽或工字槽中的一種，所述導槽(101)內涂覆潤滑脂。

7.根據權利要求1所述一種砷化鎵的多晶合成裝置，其特征在于：所述限位孔(102)的數量為十個。