[實(shí)用新型]具有抗指紋功能的高介電常數(shù)的陶瓷蓋板

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920720074.0
• 申請日: 2019-05-17
• 公開（公告）號: CN210157510U
• 公開（公告）日: 2020-03-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭威;李錦干;徐華畢
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市華爾利泰電子科技有限公司
• 主分類號: H05K5/02
• 分類號: H05K5/02;H05K5/03
• 代理公司: 深圳正和天下專利代理事務(wù)所(普通合伙) 44581
• 代理人: 楊波

1.一種具有抗指紋功能的高介電常數(shù)的陶瓷蓋板，其特征在于，包括陶瓷材質(zhì)的基板(1)，以及依次在所述基板(1)上沉積形成的Parylene膜層(2)、InSn膜層(3)、SIO₂膜層(4)、以及AF膜層(5)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有抗指紋功能的高介電常數(shù)的陶瓷蓋板，其特征在于，所述Parylene膜層(2)采用CVD沉積的方式形成。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具有抗指紋功能的高介電常數(shù)的陶瓷蓋板，其特征在于，所述Parylene膜層(2)的厚度范圍為3-10μm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有抗指紋功能的高介電常數(shù)的陶瓷蓋板，其特征在于，所述InSn膜層(3)、SIO₂膜層(4)、以及AF膜層(5)均采用PVD沉積的方式形成。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的具有抗指紋功能的高介電常數(shù)的陶瓷蓋板，其特征在于，所述InSn膜層(3)的厚度范圍為5-10nm。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的具有抗指紋功能的高介電常數(shù)的陶瓷蓋板，其特征在于，所述SIO₂膜層(4)的厚度范圍為30-100nm。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的具有抗指紋功能的高介電常數(shù)的陶瓷蓋板，其特征在于，所述AF膜層(5)的厚度范圍為5-20nm。