[實用新型]帶維持泵的羅茨真空機組

有效

• 申請號: 201920708659.0
• 申請日: 2019-05-16
• 公開（公告）號: CN210050034U
• 公開（公告）日: 2020-02-11
• 發明（設計）人: 許鳳華;張有山;朱磊;張蒙;佘麗慧
• 申請（專利權）人: 沈陽海普瑞真空科技有限公司
• 主分類號: F04C25/02
• 分類號: F04C25/02;F04C18/12;F04C23/00
• 代理公司: 11582 北京久維律師事務所
• 代理人: 邢江峰

1.帶維持泵的羅茨真空機組，包括第一進氣口(1)、第一閥門(4)、小水環泵(8)、大水環泵(9)、第一羅茨泵(12)、第二羅茨泵(13)和第二閥門(14)，其特征在于：所述第一進氣口(1)的背面與第二進氣口(2)的正面相連通，所述第一進氣口(1)的右側與預抽管路(3)的左側相連通，所述第一閥門(4)固定安裝在預抽管路(3)的內部，所述預抽管路(3)的底端與第二連接管(7)的頂端相連通，所述第一羅茨泵(12)的頂端通過法蘭盤與第一進氣口(1)的底端固定連接，所述第一羅茨泵(12)的右側與主管路(5)的左側相連通，所述第二羅茨泵(13)的頂端與主管路(5)的底端相連通，所述第一羅茨泵(12)和第二羅茨泵(13)的底端皆固定在固定架(11)的表面，所述第二羅茨泵(13)的底端固定連接有第一連接管(6)，所述小水環泵(8)的正面頂端與第一連接管(6)的底端固定連接，所述小水環泵(8)的背面頂端通過法蘭盤與第二連接管(7)的右側相連接，所述大水環泵(9)的頂端右側與第二連接管(7)的左側相連通，所述大水環泵(9)的頂端左側固定安裝有排氣口(10)，所述小水環泵(8)和大水環泵(9)的底端皆固定焊接在固定架(11)的表面，所述第二閥門(14)固定安裝在第一進氣口(1)的內部。

2.根據權利要求1所述的帶維持泵的羅茨真空機組，其特征在于：所述主管路(5)依次與第一羅茨泵(12)和第二羅茨泵(13)相連接，所述第一羅茨泵(12)通過主管路(5)與第二羅茨泵(13)組成連通式結構。

3.根據權利要求1所述的帶維持泵的羅茨真空機組，其特征在于：所述大水環泵(9)通過第二連接管(7)與預抽管路(3)相連通，所述大水環泵(9)與第二進氣口(2)相連通。

4.根據權利要求1所述的帶維持泵的羅茨真空機組，其特征在于：所述固定架(11)為矩形中空結構，且小水環泵(8)和大水環泵(9)對稱分布在固定架(11)的內部兩側。

5.根據權利要求1所述的帶維持泵的羅茨真空機組，其特征在于：所述第一羅茨泵(12)與大水環泵(9)的位置相對應，所述第二羅茨泵(13)與小水環泵(8)的位置相對應。

6.根據權利要求1所述的帶維持泵的羅茨真空機組，其特征在于：所述第二羅茨泵(13)的兩端皆固定有第一連接管(6)，所述第二羅茨泵(13)通過第一連接管(6)與小水環泵(8)相連通。