[實用新型]一種對廢氣進行降溫處理的雙層水洗塔裝置

有效

• 申請號: 201920697384.5
• 申請日: 2019-05-16
• 公開（公告）號: CN210165394U
• 公開（公告）日: 2020-03-20
• 發明（設計）人: 王繼飛;楊春水;席濤濤;章文軍;寧騰飛;陳彥崗;楊春濤;張坤;閆蕭;蔡傳濤;王磊
• 申請（專利權）人: 北京京儀自動化裝備技術有限公司
• 主分類號: F23G7/06
• 分類號: F23G7/06;F23J15/04;F23J15/02;F23J15/06;B01D50/00
• 代理公司: 蕪湖思誠知識產權代理有限公司 34138
• 代理人: 崔金

本實用新型公開了一種對廢氣進行降溫處理的雙層水洗塔裝置，涉及半導體行業廢氣清潔技術領域，包括水箱，所述水箱上通過卡箍連接有中空的洗滌塔,本實用新型洗滌塔分為第一洗滌腔室和第二洗滌腔室，在他們的上端分別安裝有水管一和水管二，第二洗滌腔室的水管一與水箱中的泵連接，使得通入循環水，第一洗滌腔室的進水通入的是車間水源，比水管一中的水純凈，加強了降溫洗滌效果，通過在水管二上設有電磁閥，在第二洗滌腔室上設置溫度傳感器，溫度傳感器將經過三次洗滌降溫的廢氣測溫后傳輸信號給處理器，從而調整水管二的水流量，提升設備的處理效率，過濾裝置的設置提升了廢氣的排放質量。

技術領域

本實用新型涉及半導體廢氣清潔技術領域，具體涉及一種對廢氣進行降溫處理的雙層水洗塔裝置。

背景技術

用于半導體制造工藝產生的氣體具有強烈的特性，例如毒性、燃燒性、和腐蝕，直接排放到大氣中不符合排放標準，需要各車間先進行廢氣處理后再通過總廠的排放系統排放，廢氣處理一般會先燃燒再洗滌降溫，但是現有的廢氣降溫處理往往是經燃燒處理后的氣體直接經過水箱降溫處理再排放，降溫洗滌效果不明顯，設備的處理效率不高，使得排放的氣體難以達到排放標準。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種對廢氣進行降溫處理的雙層水洗塔裝置，以解決現有技術中對廢氣進行降溫洗滌效果不明顯、設備的處理效率不高、排放的氣體難以達到排放標準的缺陷。

一種對廢氣進行降溫處理的雙層水洗塔裝置，包括水箱，所述水箱上通過卡箍連接有中空的洗滌塔，所述洗滌塔有兩層且包括通過卡箍連接的第一洗滌腔室和第二洗滌腔室，所述第一洗滌腔室上連接有水管一，所述水管一另一端連接至水箱內的水泵，所述第二洗滌腔室上設有水管二，所述水管二連接車間自來水水源，所述水管一與水管二上均設有水閥，所述第二洗滌腔室頂端設有將廢氣進一步過濾的過濾裝置。

優選的，所述過濾裝置包括與第二洗滌腔室頂端螺紋連接的排氣管，所述排氣管底端安裝過濾機構。

優選的，所述過濾機構包括支撐架，所述支撐架底端設有數個氣孔且其內部設有數層過濾網并螺紋連接壓緊圈。

優選的，所述支撐架側面設有沿其軸線呈環形排列的插條，所述排氣管底端開有沿其軸線呈環形排列的插槽，所述插條插接于插槽內。

優選的，所述支撐架的插條端面均設有拔銷。

本實用新型的優點在于：洗滌塔分為第一洗滌腔室和第二洗滌腔室，在他們的上端分別安裝有水管一和水管二，第二洗滌腔室的水管一與水箱中的泵連接，使得通入循環水，第一洗滌腔室的進水通入的是車間水源，比水管一中的水純凈，加強了降溫洗滌效果，通過在水管二上設有電磁閥，在第二洗滌腔室上設置溫度傳感器，溫度傳感器將經過三次洗滌降溫的廢氣測溫后傳輸信號給處理器，從而調整水管二的水流量，提升設備的處理效率，過濾裝置的設置提升了廢氣的排放質量。

附圖說明

圖1、圖2為本實用新型不同視角的示意圖。

圖3為本實用新型中過濾裝置的結構示意圖。

圖4為本實用新型中排氣管的結構示意圖。

圖5、圖6為本實用新型中過濾機構不同視角的結構示意圖。

圖7為圖2中安裝了電磁閥、溫度傳感器的結構示意圖。

其中，1-水箱，2-卡箍，3-洗滌塔，4-第一洗滌腔室，5-第二洗滌腔室， 6-水管一，7-水管二，8-過濾裝置，9-排氣管，10-過濾機構，11-支撐架，12- 過濾網，13-壓緊圈，14-插條，15-插槽，16-拔銷。

具體實施方式

為使本實用新型實現的技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合具體實施方式，進一步闡述本實用新型。