[實用新型]一種超精密燕尾槽構型的氣浮導軌

有效

• 申請號: 201920695906.8
• 申請日: 2019-05-15
• 公開（公告）號: CN209830882U
• 公開（公告）日: 2019-12-24
• 發明（設計）人: 陳萬群;楊凱
• 申請（專利權）人: 南京艾提瑞精密機械有限公司
• 主分類號: B23Q1/01
• 分類號: B23Q1/01;B23Q1/38
• 代理公司: 11515 北京君華知識產權代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 朱慶華

1.一種超精密燕尾槽構型的氣浮導軌，其特征在于：包括導軌本體、直線電機和溜板，所述導軌本體截面呈燕尾槽型；所述溜板包括上溜板和兩個側溜板，上溜板的兩端分別與兩個側溜板相連接，上溜板中設有上節流器，側溜板中設有側節流器；上溜板和兩個側溜板形成燕尾槽型的容納空間，導軌本體設置在容納空間內；所述直線電機包括定子和動子，直線電機的定子通過定子連接座固定在導軌本體中，動子通過動子固定板連接在上溜板中。

2.根據權利要求1所述的超精密燕尾槽構型的氣浮導軌，其特征在于：所述導軌本體的上端設置導軌凹槽，所述定子連接座固定在導軌凹槽的內部，直線電機的定子固定在定子連接座上；動子固定板的上端與上溜板的下端面固定，直線電機的動子固定在動子固定板上。

3.根據權利要求2所述的超精密燕尾槽構型的氣浮導軌，其特征在于：所述上溜板的底部在導軌凹槽對應的位置設有上溜板凹槽，所述動子固定板設置在上溜板凹槽的底壁上。

4.根據權利要求1所述的超精密燕尾槽構型的氣浮導軌，其特征在于：所述上溜板的截面為矩形，所述側溜板的截面為直角梯形，上溜板的側邊和側溜板的側邊齊平；所述側溜板的斜面與導軌本體的斜面互相平行。

5.根據權利要求1所述的超精密燕尾槽構型的氣浮導軌，其特征在于：所述側溜板的底部與導軌本體的底面相齊平。

6.根據權利要求1所述的超精密燕尾槽構型的氣浮導軌，其特征在于：所述上節流器的出氣孔設置在上溜板的內空間中，且上節流器的出氣孔與上溜板的下表面相垂直；所述側節流器的出氣孔設置在側溜板的內空間中，且側節流器的出氣孔與側溜板的斜面相垂直。

7.根據權利要求1所述的超精密燕尾槽構型的氣浮導軌，其特征在于：所述上節流器和側節流器的形式包括小孔節流、環面節流、狹縫節流、多孔質節流、毛細管節流的一種或多種。