[實用新型]CIGS制備用強化隔離膜及制備裝置

有效

• 申請號: 201920686231.0
• 申請日: 2019-05-14
• 公開（公告）號: CN210127266U
• 公開（公告）日: 2020-03-06
• 發明（設計）人: 王魯南;竇立峰
• 申請（專利權）人: 南京匯金錦元光電材料有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/56
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 王清義

本實用新型提供一種CIGS制備用強化隔離膜制備裝置，以柔性有機材料為基材，經該制備裝置一次性制成的成膜，具有較好的服帖性能；它包括在一個真空鍍膜腔內的多個磁控濺射裝置，各磁控濺射裝置包括以氬氣作為工作氣體、以氧氣為反應氣體的沉積陰極室、位于沉積陰極室內的陰極靶材；磁控濺射裝置分為用于對柔性有機基材下表面磁控濺射鍍膜的下鍍膜磁控濺射裝置和用于對柔性有機基材上表面磁控濺射鍍膜的上鍍膜磁控濺射裝置；在真空鍍膜腔內還設置有用于對連續移動的柔性有機基材進行冷卻的冷鼓；本實用新型還提供一種CIGS制備用強化隔離膜，具有較好的服帖性能，有利于增寬透過光譜的范圍，加寬光譜透射窗口寬度，有助于增加全光線透過率。

技術領域

本實用新型涉及CIGS制造領域及真空鍍膜領域，提供一種CIGS制備用強化隔離膜制備裝置，以柔性有機材料為基材，經該制備裝置以柔性、卷繞式、連續型有機基材磁控濺射鍍膜一次性制成的CIGS制備用強化隔離膜，具有較好的服帖性能，可廣泛應用于柔性太陽能薄膜電池的生產制造中。

背景技術

柔性太陽能薄膜電池通常使用的基底材料為薄金屬，相較柔性有機薄膜基材在附著于任意曲面表面時的服帖性能較差，甚至于無法使用。但柔性有機基材用于太陽能薄膜電池生產時，由于柔性有機薄膜基底材料生產制造及存放過程中，在柔性有機薄膜內部，特別是淺表部分存在有大量的微小氣泡、吸收空氣中的水分形成汽泡等缺陷，在磁控濺射高真空腔體內，由于真空負壓的影響而破裂釋放。釋放出的氣體、水汽對該點沉積薄膜產生一定的影響，輕者影響沉積薄膜指標的一致性，嚴重的將使該點沉積薄膜受到破壞，造成嚴重缺陷。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種CIGS制備用強化隔離膜制備裝置，以柔性有機材料為基材，以連續移動的柔性有機材料為基材，經該制備裝置以柔性、卷繞式、連續型有機基材磁控濺射鍍膜一次性制成的CIGS制備用強化隔離膜，具有較好的服帖性能，可廣泛應用于柔性太陽能薄膜電池的生產制造中。

本實用新型的目的是通過以下技術方案實現：

CIGS制備用強化隔離膜制備裝置，它包括在一個真空鍍膜腔內的多個磁控濺射裝置，各磁控濺射裝置包括以惰性氣體氬氣作為工作氣體、以氧氣為反應氣體的沉積陰極室、位于沉積陰極室內的陰極靶材；磁控濺射裝置分為用于對柔性有機基材下表面磁控濺射鍍膜的下鍍膜磁控濺射裝置和用于對柔性有機基材上表面磁控濺射鍍膜的上鍍膜磁控濺射裝置；在真空鍍膜腔內還設置有用于對連續移動的柔性有機基材進行冷卻的冷鼓。

本實用新型的有益效果是：

使用時，連續移動的柔性有機基材依次通過各磁控濺射裝置的沉積陰極室，經冷鼓冷卻降溫，以惰性氣體氬氣作為工作氣體、以氧氣為反應氣體使相應的陰極靶材發生有氧反應，通過下鍍膜磁控濺射裝置的濺射，在柔性有機基材下表面分層沉積陰極靶材氧化物的薄膜層后，再通過上鍍膜磁控濺射裝置的濺射，在柔性有機基材上表面分層沉積陰極靶材氧化物的薄膜層形成CIGS制備用強化隔離膜。

上述CIGS制備用強化隔離膜制備裝置，以連續移動的柔性有機材料為基材，經該制備裝置以柔性、卷繞式、連續型有機基材磁控濺射鍍膜一次性制成的CIGS制備用強化隔離膜，具有較好的服帖性能，可廣泛應用于柔性太陽能薄膜電池的生產制造中。

上述的CIGS制備用強化隔離膜制備裝置，柔性有機基材為PET或柔性有機玻璃。

上述的CIGS制備用強化隔離膜制備裝置，磁控濺射裝置包括陰極靶材分別是Nb、Si、Si、Al的第一至第四磁控濺射裝置；第一、第二磁控濺射裝置組成下鍍膜磁控濺射裝置，用于在柔性有機基材下表面依次沉積Nb₂O₅過渡層、SiO₂下隔離層，第三、第四磁控濺射裝置上鍍膜磁控濺射裝置，用于在柔性有機基材上表面依次沉積SiO₂上隔離層、Al₂O₃硬化層。