[實用新型]會聚檢測透鏡面型用裝置

有效

• 申請號: 201920686112.5
• 申請日: 2019-05-14
• 公開（公告）號: CN209764031U
• 公開（公告）日: 2019-12-10
• 發明（設計）人: 陳玉芳;吳振聰;王敏;邵曉萍
• 申請（專利權）人: 福建師范大學
• 主分類號: G01B11/255
• 分類號: G01B11/255
• 代理公司: 35100 福州元創專利商標代理有限公司
• 代理人: 林捷;蔡學俊

本實用新型涉及一種會聚檢測透鏡面型用裝置，包括組合式偏振分光器，所述組合式偏振分光器正右方設置有旋轉毛玻璃屏，所述組合式偏振分光器與毛玻璃屏之間設置有標準聚光鏡。所述組合式偏振分光器正上方設置有光學樣板，所述組合式偏振分光器正左方設置有被測鏡，所述組合式偏振分光器正下方設置有激光擴束鏡。所述組合式偏振分光器與激光擴束鏡之間設置有會聚透鏡。本實用新型采用旋轉毛玻璃屏消散斑的方法使光源的發散角發生隨機變化，讓散斑能夠快速產生疊加，實現圖像散斑噪聲點的消除，大大提高了后期圖像處理速度，提升了系統檢測精度。

技術領域：

本實用新型涉及一種會聚檢測透鏡面型用裝置。

背景技術：

目前，檢驗拋光后的光學零件面形偏差通常采用光學樣板或干涉儀檢測，檢驗方法都是根據光的干涉原理，在光學車間檢驗光學零件的面形偏差，常用的方法有干涉圖樣法和陰影法，干涉圖樣法可分為接觸法（即樣板法）和非接觸法（即干涉儀法）。

在光學車間光學鏡片面形偏差檢測通常采用光學樣板法，而鏡片下盤后出廠前的終檢采用干涉儀檢測法。二者都是根據光的干涉原理，通過觀察到的干涉條紋的數目、形狀、變化狀態和顏色來確定鏡片的面形偏差。樣板法檢測需要將待測鏡片和光學樣板直接接觸，加壓觀察，這種檢測方法不僅對鏡片的表面光潔度造成一定程度的破壞，多次測量還會使光學樣板磨損，給測量結果帶來誤差，造成反復返工甚至報廢、大大降低了生產效率、增加了生產成本。干涉儀（以美國zego為例）屬于非接觸無損檢測，測量精度高，但價格昂貴，而且測量范圍受到標準鏡頭相關孔徑的限制，需要多種規格的標準鏡頭，并且需要一定長度的導軌來實現基準面的球心從待測透鏡的球面頂點移動到與被測面的球心重合，通過測量移動的距離獲得待測透鏡的曲率半徑。干涉圖不能反映曲率半徑相對名義值的偏差，不適用于車間的在線檢測。

專利申請號 CN201010550796“透鏡面形偏差檢測裝置及其方法”公開了一種小型球面干涉儀，該干涉儀使用兩個完全相同的等邊直角棱鏡膠合而成的分光棱鏡（結合面鍍有半反半透膜），將檢測光束分成透射和反射兩束光，分別照射在待測鏡片和光學樣板上反射在接收屏上形成干涉條紋，它用于無損檢驗球面鏡片偏差。但這種方法無法消除光源的亮斑和雜散光，采集到的干涉條紋對比度較差。且用平行光作為檢測光，要求檢測裝置各光學元件口徑較大，且光能利用率較低，產生的背景噪聲較大，嚴重影響圖像質量，使后期圖像處理的誤差變大。

激光的相干性和各個光學元件上的缺陷都會使干涉圖產生牛頓環或者散斑噪聲，影響采集到的干涉圖像質量，降低其分辨率，對后期進行波面擬合帶來更大的誤差。

發明內容：

本實用新型的目的在于提供了一種會聚檢測透鏡面型用裝置，該會聚檢測透鏡面型用裝置能夠有效抑制系統的相干噪聲。

本實用新型解決技術問題所采用的方案是：

本實用新型會聚檢測透鏡面型用裝置，其特征在于：包括組合式偏振分光器，所述組合式偏振分光器正右方設置有旋轉毛玻璃屏，所述組合式偏振分光器與毛玻璃屏之間設置有標準聚光鏡；所述組合式偏振分光器正上方設置有光學樣板，所述組合式偏振分光器正左方設置有被測鏡，所述組合式偏振分光器正下方設置有激光擴束鏡；所述組合式偏振分光器與激光擴束鏡之間設置有會聚透鏡。

進一步的，上述組合式偏振分光器包括由兩個相同的等腰直角三棱鏡膠合而成的立方棱鏡，其中一個等腰直角三棱鏡的膠合面鍍有偏振分光介質膜。

進一步的，上述立方棱鏡的正下方設置有檢偏器，立方棱鏡的正右方設置有起偏器，正上方和正左方均設置有 1/4 波片。

進一步的，上述旋轉毛玻璃屏通過旋轉軸承與旋轉電機相連接，以實現旋轉電機帶動旋轉毛玻璃屏轉動，所述旋轉毛玻璃屏正右方設置有接收屏。

進一步的，上述檢偏器和起偏器為偏振片。