[實用新型]一種ITO旋轉靶綁定雙系統自動控溫裝置

有效

• 申請號: 201920685042.1
• 申請日: 2019-05-14
• 公開（公告）號: CN210209037U
• 公開（公告）日: 2020-03-31
• 發明（設計）人: 李兵
• 申請（專利權）人: 東莞市歐萊濺射靶材有限公司
• 主分類號: B23K20/02
• 分類號: B23K20/02;B23K20/26
• 代理公司: 北京天盾知識產權代理有限公司 11421
• 代理人: 林曉宏

本實用新型涉及靶材綁定控制設備技術領域，尤其是指一種ITO旋轉靶綁定雙系統自動控溫裝置，其包括主控柜、獨立于主控柜外的發熱組件和設置于主控柜內的控制電路，控制電路設置有三相電源輸入端，發熱組件包括一外發熱包組和一內發熱包組，三相電源輸入端并聯有兩組溫控系統，各溫控系統分別調控外發熱包組和內發熱包組的發熱溫度。本實用新型經由兩套相互獨立的溫控系統對靶材溫度對背管溫度按預先設置好的溫度曲線獨立控制，其綁定效率高，操作方便。

技術領域

本實用新型涉及靶材綁定控制設備技術領域，尤其是指一種ITO旋轉靶綁定雙系統自動控溫裝置。

背景技術

靶材綁定是指通過焊接將靶材和金屬背管粘合在一起，在現有的靶材綁定技術通常是將金屬背管放置于加熱臺上，然后靶材貼合于金屬背管上，然后在靶材和金屬背管之間加上焊料，然后對金屬背管加壓加溫，最終焊接成型。

現有技術中主要存在以下兩點缺點：

1、ITO旋轉靶材綁定的加熱控制由繼電器粗放式控制，無法對加熱溫度曲線的過程進行有效控制，會造成靶材的驟冷驟熱變形，嚴重影響綁定質量；

2、對背管溫度和靶材溫度沒有分開獨立控制，使靶材與背管同時加熱或冷卻，旋轉靶材采用熱膨脹法綁定在背管上的條件受到限制。

發明內容

為了解決上述技術問題，本實用新型要解決的技術問題是提供一種ITO旋轉靶綁定雙系統自動控溫裝置，能夠對背管溫度和靶材溫度按預先設置好的溫度曲線獨立控制，綁定效率和綁定成品率高。

本實用新型采用如下技術方案：

一種ITO旋轉靶綁定雙系統自動控溫裝置，包括主控柜、獨立于主控柜外的發熱組件和設置于主控柜內的控制電路，控制電路設置有三相電源輸入端，

發熱組件包括一用于加熱靶材的外發熱包組和一用于加熱背管的內發熱包組，

三相電源輸入端并聯有兩組溫控系統，各溫控系統分別調控外發熱包組和內發熱包組的發熱溫度；

溫控系統包括三相電源控制單元、發熱驅動單元、調溫控制單元和溫度采集單元，

溫度采集單元電連接于調溫控制單元的溫度信號采集接口，溫度采集單元用于采集外發熱包組的溫度數據并輸出溫度數據至調溫控制單元，

調溫控制單元通過信號輸出接口輸出調溫信號至發熱驅動單元，各發熱驅動單元分別電連接于外發熱包組和內發熱包組，

三相電源控制單元分別與調溫控制單元和發熱驅動單元電性連接。

進一步地，各所述三相電源控制單元設置有電源鑰匙開關SA、電源指示燈、第一過流保護開關，

各所述發熱驅動單元設置有第一電源輸入端、第一供電端和第一信號接收端；

第一過流保護開關和電源鑰匙開關SA串聯以形成一供電支路，供電支路的輸出端電連接調溫控制單元；

三相電源輸入端分別電連接第一過流保護開關的第一端和第一電源輸入端；

在電源鑰匙開關SA閉合導通，供電支路電性導通調溫控制單元，

各調溫控制單元輸出調溫信號至第一信號接收端以調控第一供電端的輸出電壓和/電流或大小，各第一供電端分別電連接于外發熱包組或內發熱包組；

第一過流保護開關、電源鑰匙開關SA和電源指示燈串聯以形成一電源指示支路，

在電源鑰匙開關SA閉合導通，電源指示支路電性導通。