[實用新型]芯片搬運機構

有效

• 申請號: 201920661318.2
• 申請日: 2019-05-09
• 公開（公告）號: CN209880564U
• 公開（公告）日: 2019-12-31
• 發明（設計）人: 項剛;譚軍;金琦;李旭;李兵
• 申請（專利權）人: 四川九州光電子技術有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 44256 深圳市凱達知識產權事務所
• 代理人: 劉大彎

1.一種芯片搬運機構，包括機架(1)、第一移動模組結構、第二移動模組結構、第三移動模組結構和第四移動模組結構，其特征在于：所述第一移動模組結構包括第一移動模組(2)、第一移動塊(201)、第一吸嘴藍膜部(3)和第一吸嘴調節件(301)，所述機架(1)內設有第一移動模組(2)，所述第一移動模組(2)的一側設有第一移動塊(201)，所述第一移動塊(201)的底部通過螺栓固定安裝有第一吸嘴調節件(301)，所述第一吸嘴調節件(301)的一側滑動安裝有第一吸嘴藍膜部(3)，所述第一移動模組(2)的一側固定設置有第一破真空檢測表(202)，所述第二移動模組結構包括第二移動模組(4)、第一焊接吸嘴(5)和第二吸嘴調節件(501)，所述機架(1)內位于第一移動模組(2)的一側設有第二移動模組(4)，所述第二移動模組(4)的一側設有第二吸嘴調節件(501)，所述第二吸嘴調節件(501)的一側滑動安裝有第一焊接吸嘴(5)，所述第二移動模組(4)的一側固定設置有第二破真空檢測表(401)。

2.根據權利要求1所述的一種芯片搬運機構，其特征在于：所述第三移動模組結構包括第三移動模組(6)、第二移動塊(601)、第二吸嘴藍膜部(7)和第三吸嘴調節件(701)，所述機架(1)內遠離第一移動模組(2)的一端設有第三移動模組(6)，所述第三移動模組(6)的一側設置有第二移動塊(601)，所述第二移動塊(601)的一側固定設置有第三吸嘴調節件(701)，所述第三吸嘴調節件(701)的一側滑動安裝有第二吸嘴藍膜部(7)。

3.根據權利要求2所述的一種芯片搬運機構，其特征在于：所述第四移動模組結構包括第四移動模組(8)、第二焊接吸嘴(9)和第四吸嘴調節件(901)，所述第三移動模組(6)的一側設置有第四移動模組(8)，所述第四移動模組(8)的一側設置有第四吸嘴調節件(901)，所述第四吸嘴調節件(901)的底部滑動安裝有第二焊接吸嘴(9)。

4.根據權利要求3所述的一種芯片搬運機構，其特征在于：所述機架(1)內位于第二移動模組(4)和第四移動模組(8)之間固定設置有第一相機調節件(1001)，所述第一相機調節件(1001)的一側設有檢查相機(10)。

5.根據權利要求4所述的一種芯片搬運機構，其特征在于：所述機架(1)內位于檢查相機(10)的兩側分別固定設有兩個第二相機調節件(1101)，所述第二相機調節件(1101)的一側設有高速工業相機(11)。

6.根據權利要求5所述的一種芯片搬運機構，其特征在于：兩組所述高速工業相機(11)和第二相機調節件(1101)分別以檢查相機(10)為對稱軸對稱設置。