[實用新型]輸送裝置

有效

• 申請號: 201920657659.2
• 申請日: 2019-05-08
• 公開（公告）號: CN210084436U
• 公開（公告）日: 2020-02-18
• 發明（設計）人: 鑒繼薰;星野愛信
• 申請（專利權）人: 日本電氣硝子株式會社
• 主分類號: B65G49/07
• 分類號: B65G49/07;B65G49/06;H01L21/304
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 劉影娜

1.一種輸送裝置，其配置于干燥裝置，該干燥裝置對清洗后的板狀構件一邊沿一方向輸送一邊進行干燥，其特征在于，

所述輸送裝置具備：

驅動馬達，其為動力源；

中間軸，其被所述驅動馬達驅動而旋轉；

多個第一齒輪，它們套設于所述中間軸；

多個第二齒輪，它們分別與多個所述第一齒輪嚙合；

多個輥軸，它們在一端部分別套設多個所述第二齒輪，且沿所述板狀構件的輸送方向排列配置；以及

槽狀構件，多個所述第一齒輪設在該槽狀構件的內部，

所述第一齒輪在所述槽狀構件內能夠浸沒水中。

2.根據權利要求1所述的輸送裝置，其特征在于，

所述槽狀構件具有：

供給口，其向內部供給水；以及

水位變更部件，其能夠使從所述供給口供給的水的水位變化。

3.根據權利要求1或2所述的輸送裝置，其特征在于，

在所述第一齒輪在所述槽狀構件內浸沒水中的狀態下輸送所述板狀構件。

4.根據權利要求1或2所述的輸送裝置，其特征在于，

所述輸送裝置還具備將所述中間軸支承為能夠旋轉的多個第一軸承，

所述第一軸承與所述第一齒輪一起設于所述槽狀構件的內部。

5.根據權利要求1或2所述的輸送裝置，其特征在于，

所述槽狀構件還具有：

罩構件，其將開口的上部封閉；以及

排氣口，其將內部的空氣向外部排出。

6.根據權利要求1或2所述的輸送裝置，其特征在于，

所述輸送裝置還具備：

氣刀，其利用壓縮空氣將附著于所述板狀構件的水滴吹飛，且與多個所述輥軸的另一端部側相鄰地配置；以及

多個第二軸承，它們設置于各個所述輥軸的另一端部，用于將所述輥軸支承為能夠旋轉，

設置于所述輥軸的另一端部的多個所述第二軸承由保持構件分別單獨地保持，

所述保持構件具有循環部件，該循環部件使水循環至保持所述第二軸承的保持部。