[實用新型]一種電鍍機臺腔體結構及電鍍機臺有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201920657232.2 | 申請日： | 2019-05-08 |
| 公開（公告）號： | CN210012914U | 公開（公告）日： | 2020-02-04 |
| 發(fā)明（設計）人： | 秦杰;王金崗;薛超;林宗賢 | 申請（專利權）人： | 德淮半導體有限公司 |
| 主分類號： | C25D7/12 | 分類號： | C25D7/12;C25D3/38;C25D17/02;C25D21/00 |
| 代理公司： | 31295 上海思捷知識產權代理有限公司 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電鍍 機臺 隔膜 腔體結構 腔體本體 本實用新型 金屬陽極 驅動組件 軸向往復移動 邊緣位置 邊緣效應 封閉結構 金屬薄膜 晶圓表面 平行設置 有效減少 均勻性 陽離子 沉積 阻擋 驅動 | ||
1.一種電鍍機臺腔體結構，其特征在于，包括腔體本體；
所述腔體本體內設有隔膜和金屬陽極，所述隔膜和所述金屬陽極平行設置；
所述隔膜與至少一組驅動組件相連，所述驅動組件用于驅動所述隔膜沿所述腔體本體的軸向往復移動；
所述隔膜遠離其中心的邊緣位置為能夠阻擋陽離子通過的封閉結構。
2.如權利要求1所述的電鍍機臺腔體結構，其特征在于，所述驅動組件包括相連的驅動部件和傳動部件，所述驅動部件通過所述傳動部件驅動所述隔膜沿所述腔體本體的軸向往復移動。
3.如權利要求2所述的電鍍機臺腔體結構，其特征在于，所述驅動部件為馬達，所述傳動部件包括齒輪和升降桿，所述升降桿沿其軸向設有用于與所述齒輪相嚙合的齒條，所述齒輪與所述驅動部件的輸出軸相連，所述升降桿的一端與所述隔膜相連。
4.如權利要求3所述的電鍍機臺腔體結構，其特征在于，所述驅動部件的輸出軸與所述腔體本體的連接處設有密封件。
5.如權利要求1所述的電鍍機臺腔體結構，其特征在于，所述隔膜遠離其中心的邊緣位置的上表面或/和下表面設有第一擋板。
6.如權利要求1所述的電鍍機臺腔體結構，其特征在于，所述隔膜靠近所述金屬陽極的一端連有至少一彈性支撐件，所述彈性支撐件的一端與所述隔膜連接，另一端固定。
7.如權利要求1所述的電鍍機臺腔體結構，其特征在于，所述腔體本體內還設有絕緣環(huán)，所述絕緣環(huán)位于所述隔膜和所述金屬陽極之間并固定于所述腔體本體的內壁上。
8.如權利要求1所述的電鍍機臺腔體結構，其特征在于，所述腔體本體內還設有高電阻虛擬陽極，所述高電阻虛擬陽極與所述隔膜平行設置并固定于所述腔體本體的內壁上，所述隔膜位于所述高電阻虛擬陽極和所述金屬陽極之間。
9.如權利要求8所述的電鍍機臺腔體結構，其特征在于，所述隔膜的中央位置為能夠阻擋陽離子通過的封閉結構。
10.如權利要求9所述的電鍍機臺腔體結構，其特征在于，所述隔膜的中央位置的上表面或/和下表面設有第二擋板。
11.一種電鍍機臺，其特征在于，包括權利要求1至10中任一項所述的腔體結構。
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