[實用新型]一種溫度調節慣性傳感器

有效

• 申請號: 201920656602.0
• 申請日: 2019-05-09
• 公開（公告）號: CN210426568U
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發明（設計）人: 黃向向;楊敏;萊昂納多·薩拉;關健
• 申請（專利權）人: 罕王微電子（遼寧）有限公司
• 主分類號: G01C21/10
• 分類號: G01C21/10;G05D23/20;B81B7/02;B81B7/00
• 代理公司: 沈陽晨創科技專利代理有限責任公司 21001
• 代理人: 張晨

一種溫度調節慣性傳感器，包括集成電路模塊，溫度傳感器，串行接口模塊，溫度控制回路，加熱系統，數字或模擬電路模塊，MEMS模塊，可拓展部分模塊，加熱電阻，功率器件，晶體管驅動裝置，脈寬調解，目標溫度設定模塊，增加震動預防電路進入極限循環模塊，加速劑陀螺儀輸出端；集成電路模塊上布置有溫度傳感器、串行接口模塊、溫度控制回路、加熱系統、數字或模擬電路模塊；MEMS模塊與集成電路模塊連接，溫度控制回路和加熱系統上帶有可拓展部分模塊；溫度傳感器與加熱電阻連接，加熱電阻與功率器件和晶體管驅動裝置連接，加速劑陀螺儀輸出端與集成電路模塊連接。本實用新型的優點：低成本，器件尺寸小，功率低，高精準度。

技術領域

本實用新型涉及傳感器領域，特別涉及了一種溫度調節慣性傳感器。

背景技術

目前，傳感器領域，普遍存在成本高，整體尺寸大，功率高，同時精度低的問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是，為了降低成本，減小器件尺寸，降低功率以及提高精準度，特提供了一種溫度調節慣性傳感器。

本實用新型提供了一種溫度調節慣性傳感器，其特征在于：所述的溫度調節慣性傳感器，包括集成電路模塊1，溫度傳感器2，串行接口模塊3，溫度控制回路4，加熱系統5，數字或模擬電路模塊6，MEMS模塊7，可拓展部分模塊8，加熱電阻9，功率器件10，晶體管驅動裝置11，脈寬調解12，目標溫度設定模塊13，增加震動預防電路進入極限循環模塊14，加速劑陀螺儀輸出端15；

其中：集成電路模塊1上布置有溫度傳感器2、串行接口模塊3、溫度控制回路4、加熱系統5、數字或模擬電路模塊6；

MEMS模塊7與集成電路模塊1連接，溫度控制回路4和加熱系統5上帶有可拓展部分模塊8；溫度傳感器2與加熱電阻9連接，加熱電阻9與功率器件10和晶體管驅動裝置11連接，脈寬調解12、目標溫度設定模塊13與增加震動預防電路進入極限循環模塊14連接，加速劑陀螺儀輸出端15與集成電路模塊1連接。

所述的溫度調節慣性傳感器，還包括加熱環16，溫度控制17，金屬蓋18，自由空氣循環19，襯底20；加熱環16布置在溫度調節慣性傳感器內部，溫度控制17與加熱環16連接，金屬蓋18位于溫度調節慣性傳感器上部，金屬蓋18內部為自由空氣循環19，襯底20布置于溫度調節慣性傳感器底部。

所述的加熱環16，能是金屬件，也能是多晶硅件。

所述的溫度調節慣性傳感器還包括塑料蓋21，塑料蓋21位于溫度調節慣性傳感器頂部。

加熱環，其材料可以是金屬，PVD方法制作，也可以使用多晶硅，CVD方法制作。該器件由集成電路模塊1，溫度傳感器2，加熱系統5的重要組成部分加熱環16，溫度控制17幾部分組成。

溫度慣性傳感器封裝可以使用兩種材料一種為金屬蓋，另一種為塑料蓋，金屬蓋18，自由空氣循環19，MEMS模塊7，集成電路模塊1，襯底20，塑料蓋21。

本實用新型的優點：

本實用新型所述的溫度調節慣性傳感器，低成本，器件尺寸小，功率低，高精準度。

附圖說明

下面結合附圖及實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明：

圖1為溫度調節慣性傳感器結構示意圖；

圖2為模擬電路圖；

圖3為溫度調節慣性傳感器俯視圖；

圖4為封裝部分結構示意圖。

具體實施方式

實施例1