[實用新型]芯粒分選結構

有效

• 申請號: 201920642685.8
• 申請日: 2019-05-07
• 公開（公告）號: CN210098299U
• 公開（公告）日: 2020-02-21
• 發明（設計）人: 吳貴陽;劉興波;王勝利
• 申請（專利權）人: 深圳市矽電半導體設備有限公司
• 主分類號: B07C5/36
• 分類號: B07C5/36;B07C5/342
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種芯粒分選結構，其特征在于：所述芯粒分選結構（100）包括，

第一光源（20）；

第一掩膜部（30），能夠調整透光位置，使第一光源（20）照射的光能夠穿過；

第二光源（40）；

第二掩膜部（50），位于第一掩膜部（30）背離第一光源（20）的一側，且第一掩膜部（30）與第二掩膜部（50）之間設置有置膜空間（60）；第二掩膜部（50）能夠調整透光位置，使第二光源（40）照射的光能夠穿過；在分選芯粒區域，第一掩膜部（30）透光位置正對應第二掩膜部（50）不透光位置，第一掩膜部（30）不透光正對應第二掩膜部（50）透光位置。

2.根據權利要求1所述的芯粒分選結構，其特征在于：

所述芯粒分選結構（100）還包括，

第一固定膜（71），待分選芯粒粘附在第一固定膜（71），第一固定膜（71）為UV膜；

第二固定膜（72），用于粘附分選的芯粒；第二固定膜（72）為UV膜；

第一光源（20）和第二光源（40）均為UV光源；

芯粒位于第一固定膜（71）和第二固定膜（72）之間，所述第一固定膜（71）和第二固定膜（72）位于置膜空間（60）。

3.根據權利要求2所述的芯粒分選結構，其特征在于：

所述芯粒分選結構（100）還包括視覺系統（80）和板光源裝置（90），所述板光源裝置（90）能夠伸展至第一固定膜（71）和第二固定膜（72）之間；所述視覺系統（80）用于觀察分選后的第一固定膜（71）。