[實用新型]一種用于碳化硅外延的隔熱罩裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201920625832.0 | 申請日： | 2019-05-05 |
| 公開（公告）號： | CN210085623U | 公開（公告）日： | 2020-02-18 |
| 發(fā)明（設計）人： | 沈文杰;傅林堅;周建燦;邵鵬飛;湯承偉;周航;潘禮錢 | 申請（專利權）人： | 杭州弘晟智能科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B29/36 | 分類號： | C30B29/36;C30B35/00 |
| 代理公司： | 杭州中成專利事務所有限公司 33212 | 代理人： | 周世駿 |
| 地址： | 311100 浙江省杭州*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 碳化硅 外延 隔熱 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于碳化硅外延的隔熱罩裝置,包括相互套設的內筒與外筒；內筒與外筒之間形成空腔；其特征在于，
所述內筒內設有石墨基座，石墨基座外部套設有石墨氈；
所述外筒外部設有若干感應加熱器，感應加熱器與石墨基座相連；外筒外部一端底側與頂側對開多對開孔，底側的開孔內設有進水口，頂側的開口內設有出水口；所述空腔內下部設有進水分流道，上部設有出水分流道；進水分流道與出水分流道的一端分別通過進水管與出水管連接進水口與出水口，另一端由封板封住；
所述進水分流道與出水分流道均對稱設有三路，分流道壁上設有通孔，兩側的分流道上的通孔為單排孔，中間的分流道為對稱分布的雙排小孔。
2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述內筒是圓形或橢圓形的直筒。
3.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述外筒為圓形或橢圓形，兩端有圓弧過渡的內翻邊，內翻邊形成的圓形或橢圓形形狀與內筒外徑相吻合。
4.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述進水管外壁設有臺階。
5.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述出水管外壁設有臺階。
6.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述進水分流道與出水分流道均是直管或螺旋狀管件，孔呈直線或螺旋分布。
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