[實(shí)用新型]推片裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920605163.0
• 申請(qǐng)日: 2019-04-29
• 公開（公告）號(hào): CN209785900U
• 公開（公告）日: 2019-12-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 沈明;曹佳慧
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海新傲科技股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677
• 代理公司: 31294 上海盈盛知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 孫佳胤

1.一種推片裝置，其特征在于，包括：

晶圓盒放置板，用于放置待進(jìn)行推片的晶圓盒；

推片單元，安裝于所述晶圓盒放置板，能夠相對(duì)于晶圓盒發(fā)生水平方向的運(yùn)動(dòng)，包括推桿，所述推桿垂直于水平面，并位于所述晶圓盒放置板上方，能夠伸入晶圓盒，以推動(dòng)晶圓盒內(nèi)放置的晶圓，還包括鎖塊，位于所述晶圓盒放置板下方；

鎖定單元，設(shè)置于所述晶圓盒放置板，包括：

凸塊，突出設(shè)置于所述晶圓盒放置板上表面；

限位件，連接至所述凸塊，穿過(guò)所述晶圓盒放置板，并突出于所述晶圓盒放置板的下表面，與所述鎖塊相接觸，對(duì)所述鎖塊進(jìn)行限位，從而限位所述推片單元的水平位置；

所述凸塊上方放置有晶圓盒時(shí)，所述限位件相對(duì)于所述晶圓盒放置板提起，所述鎖塊脫離限位。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的推片裝置，其特征在于，所述凸塊的數(shù)目為兩個(gè)，所述限位件的數(shù)目也為兩個(gè)，且一個(gè)凸塊對(duì)應(yīng)連接至一個(gè)限位件。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的推片裝置，其特征在于，兩個(gè)凸塊的連線平行于所述推片單元推動(dòng)晶圓時(shí)的運(yùn)動(dòng)方向。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的推片裝置，其特征在于，兩個(gè)限位件的連線平行于所述推片單元推動(dòng)晶圓時(shí)的運(yùn)動(dòng)方向。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的推片裝置，其特征在于，還包括驅(qū)動(dòng)件，連接至所述推片單元，用于驅(qū)動(dòng)所述推片單元。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的推片裝置，其特征在于，還包括推桿手柄，連接至所述推片單元，用于供用戶手動(dòng)驅(qū)動(dòng)所述推片單元。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的推片裝置，其特征在于，所述限位件和所述凸塊一體化連接，且所述限位件和凸塊所組成的一體化結(jié)構(gòu)能夠繞一旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，所述旋轉(zhuǎn)軸過(guò)所述一體化結(jié)構(gòu)，使所述限位件外露于所述晶圓盒放置板的體積發(fā)生變化。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的推片裝置，其特征在于，還包括：

限位導(dǎo)軌，突出設(shè)置于所述晶圓盒放置板上表面，與晶圓盒的底部相匹配，用于限位放置到所述晶圓盒放置板上表面的晶圓盒，使晶圓盒被放置至預(yù)設(shè)位置。