[實用新型]單晶爐冷卻導(dǎo)流筒及氣冷系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920596307.0
• 申請日: 2019-04-28
• 公開（公告）號: CN210085615U
• 公開（公告）日: 2020-02-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 魏海寧;孔祥傳
• 申請（專利權(quán)）人: 徐州晶睿半導(dǎo)體裝備科技有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 北京淮海知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32205
• 代理人: 華德明

本實用新型公開一種單晶爐冷卻導(dǎo)流筒及氣冷系統(tǒng)，包括底座和導(dǎo)流筒，所述底座上表面中部設(shè)有制冷設(shè)備，制冷設(shè)備的上表面設(shè)有儲氣瓶，制冷設(shè)備通過設(shè)置在其上表面的避震器固定連接有托板，托板的上表面設(shè)有氣泵和矩形箱體，矩形箱體的內(nèi)部設(shè)有過濾網(wǎng)，所述導(dǎo)流筒的內(nèi)側(cè)面上下兩端分別設(shè)有環(huán)形收集管和環(huán)形出氣管，本單晶爐冷卻導(dǎo)流筒及氣冷系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)緊湊，安裝方便，操作簡單，可以快速將冷媒送入到單晶爐內(nèi)，提高了單晶爐的換熱效率，鎖止萬向輪的設(shè)置方便了儲氣瓶的位置移動，通過過濾網(wǎng)可以對熱交換過程中帶出的粉塵進(jìn)行收集，避震器的設(shè)置方便了氣泵的減震。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及單晶硅生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種單晶爐冷卻導(dǎo)流筒及氣冷系統(tǒng)。

背景技術(shù)

當(dāng)前，單晶硅技術(shù)經(jīng)過多年的發(fā)展，成本己經(jīng)有了大幅的下降，隨著投料量的不斷加大，如果想進(jìn)一步降低生產(chǎn)成本就必須提高單爐效率。在拉晶過程中，等徑工序是拉晶過程中最為重要的一個工序，也是最為耗時的一個工序，如果要提高等徑工序的效率就必須提高等徑拉速。現(xiàn)有的單晶爐分為主室和副室兩部分，融化的硅料位于主室加熱器中上部，拉出的單晶位于主室上半部分和副室中，如果能夠減少加熱器對單晶的熱輻射，并且拉出的單晶能夠及時放出潛熱，就會加快硅液的結(jié)晶速度，也就會提高等徑拉速，提高整爐效率。但是現(xiàn)有的冷卻裝置大都是一個空腔連接冷卻液進(jìn)管和冷卻液出管，冷卻液在空腔內(nèi)的存在時間較短，換熱效率較低。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有的缺陷，提供一種單晶爐冷卻導(dǎo)流筒及氣冷系統(tǒng)，可以將快速高效對單晶爐進(jìn)行散熱，可以有效解決背景技術(shù)中的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種單晶爐冷卻導(dǎo)流筒及氣冷系統(tǒng)，包括底座和導(dǎo)流筒，所述底座上表面中部設(shè)有制冷設(shè)備，制冷設(shè)備的上表面設(shè)有儲氣瓶，制冷設(shè)備通過設(shè)置在其上表面的避震器固定連接有托板，托板的上表面設(shè)有氣泵和矩形箱體，矩形箱體的內(nèi)部設(shè)有過濾網(wǎng)，所述導(dǎo)流筒的內(nèi)側(cè)面上下兩端分別設(shè)有環(huán)形收集管和環(huán)形出氣管，環(huán)形收集管的外側(cè)面通過導(dǎo)管與矩形箱體的左側(cè)面相連，環(huán)形出氣管的外側(cè)面通過連接管與儲氣瓶的外側(cè)面相連，連接管上設(shè)有第一安全閥。

作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述底座的下表面四周均布有四個鎖止萬向輪，底座的上表面右端前后兩側(cè)設(shè)有兩個前后對稱設(shè)置的推桿，推桿的上端面設(shè)有把手。

作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述制冷設(shè)備采用水冷裝置，且水冷裝置采用現(xiàn)有技術(shù)中常用的方法。

作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述儲氣瓶的左側(cè)面設(shè)有氣壓表和泄壓管，泄壓管上設(shè)有第二安全閥。

作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述避震器的數(shù)量為四個，四個避震器均勻分布在托板的下表面四周。

作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述氣泵的外側(cè)面前后兩端均通過定位支架與托板的上表面相連。

作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述氣泵的出氣口通過導(dǎo)流管與儲氣瓶的外側(cè)面相連，且導(dǎo)流管位于制冷設(shè)備的內(nèi)部，氣泵的進(jìn)氣口與矩形箱體的右側(cè)面相連。

作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述矩形箱體的上表面設(shè)有密封蓋板，密封蓋板的上表面中部設(shè)有把手。

作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述環(huán)形收集管和環(huán)形出氣管的外側(cè)面均設(shè)有透氣孔。

作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述制冷設(shè)備的前側(cè)面設(shè)有控制開關(guān)，控制開關(guān)的輸入端與外部電源的輸出端電連接，控制開關(guān)的輸出端分別與制冷設(shè)備和氣泵的輸入端電連接。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：本單晶爐冷卻導(dǎo)流筒及氣冷系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)緊湊，安裝方便，操作簡單，可以快速將冷媒送入到單晶爐內(nèi)，提高了單晶爐的換熱效率，鎖止萬向輪的設(shè)置方便了儲氣瓶的位置移動，通過過濾網(wǎng)可以對熱交換過程中帶出的粉塵進(jìn)行收集，避震器的設(shè)置方便了氣泵的減震。