[實用新型]在半導體處理中用于襯底的真空固持器

有效

• 申請號: 201920595587.3
• 申請日: 2019-04-28
• 公開（公告）號: CN209447778U
• 公開（公告）日: 2019-09-27
• 發明（設計）人: 彭壽;丹尼爾·梅諾斯;巴斯蒂安·希普欣;邁克爾·哈爾;付干華;殷新建
• 申請（專利權）人: 中國建材國際工程集團有限公司;CTF太陽能有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉;郭婧婧

1.一種在半導體處理中用于具有不同尺寸的板狀襯底(200)的真空固持器(100)，所述真空固持器(100)包括：

固持板(10)，所述固持板(10)具有多個抽吸孔(13)，其中所述抽吸孔(13)完全穿透所述固持板(10)，且所述固持板(10)具有前側(11)和后側(12)；

底板(30)，所述底板(30)被布置成與所述固持板(10)的所述后側(12)相對；

側壁(40a-40d)，所述側壁(40a-40d)在所述底板(30)和所述固持板(10)的側處或邊界區域處連接所述底板(30)和所述固持板(10)，使得所述固持板(10)與所述底板(30)之間形成抽空容積(20)，其中真空能夠施加到所述抽空容積(20)；

至少一個分離壁(21a、21b)，所述至少一個分離壁(21a、21b)布置于所述抽空容積(20)內，并將所述抽空容積(20)劃分成彼此氣密地分離的至少兩個抽空容積室(20a-20c)；

至少兩個真空入口(50a-50c)，其中每個抽空容積室(20a-20c)被分配給所述真空入口(50a-50c)中的一個真空入口并能夠通過相應的所述真空入口(50a-50c)被抽空；以及

至少一個彈性密封元件(70a-70c)，所述至少一個彈性密封元件(70a-70c)布置于所述固持板(10)的所述前側(11)上，其中所述固持板(10)上的所述至少一個彈性密封元件(70a-70c)的圖案與所述至少一個分離壁(21a、21b)的圖案對應。

2.根據權利要求1所述的真空固持器，其特征在于，所述固持板(10)和所述底板(30)具有相同的形狀和相同的橫向延伸部。

3.根據權利要求1或2所述的真空固持器，其特征在于，所述固持板(10)具有矩形形狀。

4.根據權利要求1所述的真空固持器，其特征在于，所述至少一個分離壁(21a、21b)中的至少一個分離壁在彼此相對的兩個側壁(40a-40d)之間成直線地延伸。

5.根據權利要求1所述的真空固持器，其特征在于，所述至少一個分離壁(21a、21b)中的至少一個分離壁連接彼此鄰近的兩個側壁(40a-40d)，且所述至少一個分離壁(21a、21b)包括彼此成直角延伸的兩個部分片段。

6.根據權利要求5所述的真空固持器，其特征在于，所述至少一個分離壁(21a、21b)的第一部分片段沿著第一方向延伸于第一長度上方，且所述至少一個分離壁(21a、21b)的第二部分片段沿著第二方向延伸于第二長度上方，其中所述第一長度等于所述第二長度，且其中所述第二方向與所述第一方向成直角延伸。

7.根據權利要求1所述的真空固持器，其特征在于，所述真空固持器(100)包括若干分離壁(21a、21b)，其中所述分離壁(21a、21b)被形成為具有相同形狀。

8.根據權利要求1所述的真空固持器，其特征在于，每個真空入口(50a-50c)連接到能夠被機電地、液壓地、氣動地和/或手動地操縱的控制閥(60a-60c)。

9.根據權利要求1或2所述的真空固持器，其特征在于，至少一個止動元件(90a、90b)在所述固持板(10)的邊界區域中或在一個或多個側壁(40a-40d)處布置于所述固持板(10)的所述前側(11)上，其中所述至少一個止動元件(90a、90b)突出于所述固持板(10)的所述前側(11)上方。

10.根據權利要求9所述的真空固持器，其特征在于，兩個止動元件(90a、90b)彼此成直角布置。

11.根據權利要求10所述的真空固持器，其特征在于，所述兩個止動元件(90a、90b)彼此鄰近。

12.根據權利要求10所述的真空固持器，其特征在于，所述固持板(10)具有矩形形狀。