[實用新型]晶片拋光用研磨液氣壓噴灑調節裝置

有效

• 申請號: 201920576066.3
• 申請日: 2019-04-25
• 公開（公告）號: CN209754887U
• 公開（公告）日: 2019-12-10
• 發明（設計）人: 肖迪;鄭東;王鑫
• 申請（專利權）人: 青島嘉星晶電科技股份有限公司
• 主分類號: B24B37/34
• 分類號: B24B37/34;B24B57/02
• 代理公司: 37212 青島發思特專利商標代理有限公司
• 代理人: 鞏同海

1.一種晶片拋光用研磨液氣壓噴灑調節裝置，包括安裝在機臺(1)上的拋光盤(4)、氣壓噴灑裝置(8)、頂部機箱(2)以及控制器(11)，頂部機箱(2)通過支撐柱(3)安裝在機臺(1)上方；頂部機箱(2)和機臺(1)之間設有若干壓力盤(6)，壓力盤(6)通過伸縮汽缸(7)與頂部機箱(2)連接，伸縮汽缸(7)帶動壓力盤(6)上下移動；拋光盤(4)上設有若干個均勻分布的陶瓷盤(5)，陶瓷盤(5)對應設置在壓力盤(6)下方，其特征在于：

氣壓噴灑裝置(8)的噴射方向指向拋光盤(4)的中心；頂部機箱(2)內部設置有若干風機(9)，風機(9)的出風端插接于頂部機箱(2)的下表面，風機進風端(12)插接于頂部機箱(2)的上表面，所述風機(9)的出風端設置有與控制器電連接的氣體流量計(13)。

2.根據權利要求1所述的晶片拋光用研磨液氣壓噴灑調節裝置，其特征在于，所述頂部機箱(2)內設置有轉動電機，頂部機箱(2)下表面轉動連接有若干角度折板(10)，角度折板(10)與轉動電機的輸出軸通過聯軸器連接，角度折板(10)合圍設置在風機(9)出風端外周。

3.根據權利要求2所述的晶片拋光用研磨液氣壓噴灑調節裝置，其特征在于，所述調節裝置還包括溫度調節裝置，所述溫度調節裝置包括冷卻器(14)、除塵箱(15)，風機(9)、除塵箱(15)、冷卻器(14)和風機進風端(12)依次連接，風機(9)的出風端設置有與控制器電連接的溫度傳感器。

4.根據權利要求3所述的晶片拋光用研磨液氣壓噴灑調節裝置，其特征在于，所述除塵箱(15)內部設置有除塵海綿。

5.根據權利要求1所述的晶片拋光用研磨液氣壓噴灑調節裝置，其特征在于，所述氣壓噴灑裝置(8)在拋光盤(4)外周對稱設置，氣壓噴灑裝置(8)的噴頭高度高于拋光盤(4)。