[實用新型]單晶爐加熱系統(tǒng)熱回收設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920569760.2
• 申請日: 2019-04-24
• 公開（公告）號: CN210085622U
• 公開（公告）日: 2020-02-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 魏海寧;施政;袁長路
• 申請（專利權(quán)）人: 徐州晶睿半導(dǎo)體裝備科技有限公司
• 主分類號: C30B29/06
• 分類號: C30B29/06;C30B35/00;F27D17/00
• 代理公司: 北京淮海知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32205
• 代理人: 華德明

本實用新型公開一種單晶爐加熱系統(tǒng)熱回收設(shè)備，包括機(jī)架，機(jī)架上表面設(shè)置有安裝板，安裝板的上表面設(shè)置有氣體過濾箱，氣體過濾箱的前側(cè)面設(shè)置有第一出氣管，第一出氣管與導(dǎo)管連接，第一出氣管的外側(cè)面設(shè)置有第三自動排氣閥，導(dǎo)管通過彎管接頭與進(jìn)氣接管相連，進(jìn)氣接管通過第一卡箍與設(shè)置在爐體的外側(cè)面下端的進(jìn)氣口連接，氣體過濾箱的左側(cè)面通過第一進(jìn)氣管與設(shè)置在爐體外側(cè)面的出氣口連接，本實用新型通過對單晶爐制備晶體的工作過程中熱量的收集，在單晶爐制備晶體結(jié)束后，單晶爐的冷卻過程中，將收集的熱量重新輸送進(jìn)該裝置，減少能量的損失，又實現(xiàn)能量的再利用，提高能量的利用效率，節(jié)約能源，減少運營成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及熱回收技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種單晶爐加熱系統(tǒng)熱回收設(shè)備。

背景技術(shù)

采用單晶爐制備單晶硅過程中，通過消耗大量的電能轉(zhuǎn)化為高溫，現(xiàn)如今采用單晶爐制備單晶硅過程中所產(chǎn)生的大量熱量，大部分情況通過排風(fēng)系統(tǒng)排放出去，造成大量熱量的損失，而未能得到有效的利用，因此造成了較大的資源浪費，而在單晶爐停爐冷卻過程中，需要控制冷卻溫度，在這個過程中加熱系統(tǒng)還要進(jìn)行工作，在這個過程中，還有熱量的損失。

發(fā)明內(nèi)容

為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供一種單晶爐加熱系統(tǒng)熱回收設(shè)備，通過管道對爐體中熱氣流的進(jìn)行輸送，在過濾箱中對熱氣流進(jìn)行過濾，再通過管路將過濾后的熱氣流輸送進(jìn)爐體。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型一種單晶爐加熱系統(tǒng)熱回收設(shè)備，包括機(jī)架，機(jī)架上表面設(shè)置有安裝板，安裝板的上表面設(shè)置有氣體過濾箱，氣體過濾箱的前側(cè)面設(shè)置有第一出氣管，第一出氣管與導(dǎo)管連接，第一出氣管的外側(cè)面設(shè)置有第三自動排氣閥，導(dǎo)管通過彎管接頭與進(jìn)氣接管相連，進(jìn)氣接管通過第一卡箍與設(shè)置在爐體的外側(cè)面下端的進(jìn)氣口連接，氣體過濾箱的左側(cè)面通過第一進(jìn)氣管與設(shè)置在爐體外側(cè)面的出氣口連接。

進(jìn)一步，機(jī)架的上表面設(shè)置有安裝板，安裝板的下表面設(shè)置有第一抽真空泵，第一抽真空泵的附近設(shè)置有第二抽真空泵，第一抽真空泵通過第一抽真空管與氣體過濾箱相連。

進(jìn)一步，氣體過濾箱上表面設(shè)置有四周均布有支柱，支柱的上表面固定連接集氣箱，氣體過濾箱上表面設(shè)置通氣管且與集氣箱連接，通氣管的外側(cè)面設(shè)置有第一自動排氣閥。

進(jìn)一步，集氣箱通過第二抽真空管與第二抽真空泵連接，集氣箱的前側(cè)面連接有導(dǎo)管，導(dǎo)管的附近一側(cè)設(shè)置有第二自動排氣閥，集氣箱的外側(cè)面設(shè)置有壓力表。

進(jìn)一步，氣體過濾箱的內(nèi)側(cè)面設(shè)置有耐高溫過濾器，耐高溫過濾器的數(shù)量為三個，三個耐高溫過濾器均勻的排列在氣體過濾箱的內(nèi)側(cè)面。

進(jìn)一步，第一抽真空泵和第二抽真空泵的輸出端分別與外置電源的輸入端電連接。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型通過對單晶爐制備晶體的工作過程中熱量的收集，在單晶爐制備晶體結(jié)束后，單晶爐的冷卻過程中，將收集的熱量重新輸送進(jìn)該裝置，減少能量的損失，又實現(xiàn)能量的再利用，提高能量的利用效率，節(jié)約能源，減少運營成本。

附圖說明

圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型正視圖；

圖3為本實用新型右視圖。

圖中：1爐體、2出氣口、3第一進(jìn)氣管、4壓力表、5集氣箱、6支柱、7氣體過濾箱、8安裝板、9機(jī)架、10第二抽真空管、11彎管接頭、12第一出氣管、13第三自動排氣閥、14導(dǎo)管、15第二自動排氣閥、16進(jìn)氣接管、17第一卡箍、18第一抽真空管、19第一自動排氣閥、20第一抽真空泵、21第二抽真空泵、22耐高溫過濾器。

具體實施方式

下面將結(jié)合實施例對本實用新型作進(jìn)一步說明。