[實用新型]一種多片裝晶圓剝離花籃

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920560679.8
• 申請日: 2019-04-23
• 公開（公告）號: CN209691733U
• 公開（公告）日: 2019-11-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 靳春艷;曲迪;陳墨;白國人;閆青芝
• 申請（專利權(quán)）人: 天津華慧芯科技集團(tuán)有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 12101 天津市鼎和專利商標(biāo)代理有限公司
• 代理人: 許愛文<國際申請>=<國際公布>=<進(jìn)入

1.一種多片裝晶圓剝離花籃，其特征在于：包括置于超聲槽內(nèi)的花籃下托盤；所述花籃下托盤是承載晶圓的圓柱形體；花籃下托盤上下端面貫通有多個與晶圓尺寸匹配的卡槽；所述卡槽沿花籃下托盤的周向均勻設(shè)置；卡槽內(nèi)沿徑向設(shè)有鏤空的晶圓承載體；晶圓待剝離的一面與晶圓承載體貼合。

2.如權(quán)利要求1所述的多片裝晶圓剝離花籃，其特征在于：所述晶圓承載體為十字架體。

3.如權(quán)利要求1所述的多片裝晶圓剝離花籃，其特征在于：還包括花籃支架；所述花籃支架與花籃下托盤底端固定為一體。

4.如權(quán)利要求3所述的多片裝晶圓剝離花籃，其特征在于：所述花籃支架為4個。

5.如權(quán)利要求1所述的多片裝晶圓剝離花籃，其特征在于：還包括可拆卸的與所述花籃下托盤扣合的花籃上蓋，所述花籃下托盤與所述花籃上蓋的大小和形狀匹配。

6.如權(quán)利要求5所述的多片裝晶圓剝離花籃，其特征在于：在花籃下托盤的周向設(shè)有一圈可拆卸的筒形圍擋，所述花籃上蓋同軸的設(shè)在所述圍擋內(nèi)；所述圍擋的上端設(shè)有防止花籃上蓋脫出的環(huán)狀卡條；花籃上蓋的頂端固定有豎直的提手。

7.如權(quán)利要求6所述的多片裝晶圓剝離花籃，其特征在于：所述圍擋的底部與所述花籃下托盤的外周螺紋連接。

8.如權(quán)利要求1所述的多片裝晶圓剝離花籃，其特征在于：在所述花籃下托盤的上端面設(shè)有多爪彈片；所述多爪彈片為圓形薄片，多爪彈片包括設(shè)在花籃下托盤中心的圓片及設(shè)在圓片周圍的條狀擋片；所述擋片與所述卡槽的數(shù)量和位置對應(yīng)。

9.如權(quán)利要求1至8任一項所述的多片裝晶圓剝離花籃，其特征在于：所述花籃下托盤上最多可容納25個2寸以下的晶圓。