[實用新型]管式擴散爐有效
| 申請號: | 201920554050.2 | 申請日: | 2019-04-23 |
| 公開(公告)號: | CN209923483U | 公開(公告)日: | 2020-01-10 |
| 發明(設計)人: | 田杰成;陳益民 | 申請(專利權)人: | 湖南艾科威智能裝備有限公司 |
| 主分類號: | C30B31/12 | 分類號: | C30B31/12;C30B29/06 |
| 代理公司: | 43233 長沙心智力知識產權代理事務所(普通合伙) | 代理人: | 謝如意 |
| 地址: | 410000 湖南省長沙市雨花*** | 國省代碼: | 湖南;43 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 管式擴散爐 反應管 本實用新型 爐體 加熱 輔助加熱裝置 主加熱裝置 擴散爐 回溫 爐門 種管 | ||
1.一種管式擴散爐,所述管式擴散爐包括爐體(1)和爐門(2),所述爐體(1)內設有反應管(3)和用于加熱所述反應管(3)的內部的主加熱裝置,其特征在于,所述管式擴散爐還包括用于加熱所述反應管(3)的內部的輔助加熱裝置。
2.根據權利要求1所述的管式擴散爐,其特征在于,所述輔助加熱裝置包括沿所述反應管(3)的長度方向設置在所述反應管(3)的底部的第一加熱組件(4)和/或設置在所述爐門(2)的內側上的第二加熱組件(5)。
3.根據權利要求2所述的管式擴散爐,其特征在于,所述輔助加熱裝置還包括用于檢測所述反應管(3)的內部的溫度的熱電偶(6)以及與所述熱電偶(6)以及所述第一加熱組件(4)和/或所述第二加熱組件(5)電連接的溫控儀(7)。
4.根據權利要求3所述的管式擴散爐,其特征在于,所述輔助加熱裝置還包括加熱調功器(8),所述加熱調功器(8)電連接在所述溫控儀(7)以及所述第一加熱組件(4)和/或所述第二加熱組件(5)之間。
5.根據權利要求4所述的管式擴散爐,其特征在于,所述第一加熱組件(4)包括石英套管(41)、設置在所述石英套管(41)中的紅外加熱燈絲(42)、密封所述石英套管(41)的加熱燈管接頭(43)以及紅外燈管加熱引線(44),所述紅外燈管加熱引線(44)的一端穿過所述加熱燈管接頭(43)而與所述紅外加熱燈絲(42)電連接,所述紅外燈管加熱引線(44)的另一端電連接所述加熱調功器(8)。
6.根據權利要求5所述的管式擴散爐,其特征在于,所述反應管(3)上設置有第一安裝通孔,所述第一加熱組件(4)通過真空密封接頭(9)密封地穿過所述第一安裝通孔設置在所述反應管(3)的底部。
7.根據權利要求4至6中任意一項所述的管式擴散爐,其特征在于,所述爐門(2)設置有第二安裝通孔,所述第二加熱組件(5)的兩端均連接有第二加熱組件引線,所述第二加熱組件引線通過真空密封接頭(9)密封地穿過所述第二安裝通孔并電連接所述加熱調功器(8)。
8.根據權利要求2所述的管式擴散爐,其特征在于,所述第二加熱組件(5)包括環狀加熱絲(51),所述環狀加熱絲(51)在所述爐門(2)的內側分布為多個同心的圓形。
9.根據權利要求2所述的管式擴散爐,其特征在于,所述輔助加熱裝置包括多個并排設置的所述第一加熱組件(4)。
10.根據權利要求1所述的管式擴散爐,其特征在于,所述反應管(3)為石英反應管。
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