[實(shí)用新型]大口徑楔板光學(xué)元件超精密復(fù)合成形磨削裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201920550652.0 | 申請日： | 2019-04-22 |
| 公開（公告）號： | CN210388644U | 公開（公告）日： | 2020-04-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 周煉;李潔;韋前才;鄭楠;陳賢華;張清華;謝瑞清;廖德峰;趙世杰;王健;許喬 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國工程物理研究院激光聚變研究中心 |
| 主分類號： | B24B13/00 | 分類號： | B24B13/00;B24B13/005;B24B41/02;B24B51/00;B24B47/12;B24B1/00 |
| 代理公司： | 北京慕達(dá)星云知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 曹鵬飛 |
| 地址： | 621900*** | 國省代碼： | 四川;51 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 口徑 光學(xué) 元件 精密 復(fù)合 成形 磨削 裝置 | ||
1.大口徑楔板光學(xué)元件超精密復(fù)合成形磨削裝置，其特征在于，包括：
床身(1)，
X方向傳動機(jī)構(gòu)(2)，所述X方向傳動機(jī)構(gòu)(2)沿X軸方向固定于所述床身(1)上；
工作臺(3)，所述工作臺(3)沿X軸方向與所述X方向傳動機(jī)構(gòu)(2)可滑動連接；
真空吸盤(4)，所述真空吸盤(4)固定于所述工作臺(3)頂部，用于吸附固定元件；
Y方向傳動機(jī)構(gòu)(5)，所述Y方向傳動機(jī)構(gòu)(5)沿Y軸方向固定于所述床身(1)上；
Z方向傳動機(jī)構(gòu)(6)，所述Z方向傳動機(jī)構(gòu)(6)沿Y軸方向可滑動于所述Y方向傳動機(jī)構(gòu)(5)上；
B軸旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(7)，所述B軸旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(7)一端沿Z軸方向可滑動于所述Z方向傳動機(jī)構(gòu)(6)上；
主軸機(jī)構(gòu)(9)，所述主軸機(jī)構(gòu)(9)一端固定于所述B軸旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(7)另一端，且其軸線與所述B軸旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(7)軸線垂直；所述主軸機(jī)構(gòu)(9)另一端繞Y軸方向可擺動，
磨削部(8)，所述磨削部(8)固定于所述主軸機(jī)構(gòu)(9)另一端上，且與所述工作臺(3)位置對應(yīng)；
控制系統(tǒng)，所述X方向傳動機(jī)構(gòu)(2)、所述真空吸盤(4)、所述Y方向傳動機(jī)構(gòu)(5)、所述Z方向傳動機(jī)構(gòu)(6)、所述B軸旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(7)及所述主軸機(jī)構(gòu)(9)均與所述控制系統(tǒng)電性連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大口徑楔板光學(xué)元件超精密復(fù)合成形磨削裝置，其特征在于，所述床身(1)包括X軸方向床體和Y方向床體，所述X軸方向床體和所述Y方向床體構(gòu)成T字形，所述X方向傳動機(jī)構(gòu)(2)固定于所述X軸方向床體上，所述Y方向傳動機(jī)構(gòu)(5)固定于所述Y方向床體上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的大口徑楔板光學(xué)元件超精密復(fù)合成形磨削裝置，其特征在于，所述X方向傳動機(jī)構(gòu)(2)包括X軸導(dǎo)軌(21)、X軸滑塊(22)、X軸伺服電機(jī)(23)、X軸同步帶組件(24)、X軸絲杠(25)及X軸絲杠螺母；
所述X軸導(dǎo)軌(21)固定于所述X軸方向床體上；
所述X軸滑塊(22)連接于所述工作臺(3)上，且其底部與所述X軸導(dǎo)軌(21)可滑動連接；
所述X軸伺服電機(jī)(23)固定于所述X軸方向床體上，與所述控制系統(tǒng)電性連接，其輸出端通過所述X軸同步帶組件(24)帶動X軸絲杠(25)轉(zhuǎn)動；
所述X軸絲杠螺母套接于所述X軸絲杠(25)上，且固定于所述工作臺(3)底部。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的大口徑楔板光學(xué)元件超精密復(fù)合成形磨削裝置，其特征在于，所述Y方向傳動機(jī)構(gòu)(5)包括Y軸導(dǎo)軌(51)、Y軸滑塊(52)、Y軸伺服電機(jī)(53)、Y軸同步帶組件(54)、Y軸絲杠(55)及Y軸絲杠螺母；
所述Y軸導(dǎo)軌(51)固定于所述Y方向床體上；
所述Y軸滑塊(52)連接于所述Z方向傳動機(jī)構(gòu)(6)，且其底部與所述Y軸導(dǎo)軌(51)可滑動連接；
所述Y軸伺服電機(jī)(53)固定于所述Y方向床體上，與所述控制系統(tǒng)電性連接，其輸出端通過所述Y軸同步帶組件(54)帶動Y軸絲杠(55)轉(zhuǎn)動；
所述Y軸絲杠螺母套接于所述Y軸絲杠(55)上，且固定于所述Z方向傳動機(jī)構(gòu)(6)底部。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的大口徑楔板光學(xué)元件超精密復(fù)合成形磨削裝置，其特征在于，所述Z方向傳動機(jī)構(gòu)(6)包括Z軸基座、Z軸立柱、Z軸導(dǎo)軌(61)、Z軸滑塊(62)、Z軸伺服電機(jī)(63)、Z軸同步帶組件、Z軸絲杠及Z軸絲杠螺母；
所述Z軸基座底部固定所述Y軸絲杠螺母，且沿Y軸可滑動連接；
所述Z軸立柱與所述Z軸基座一體連接；
所述Z軸導(dǎo)軌(61)固定于所述Z軸立柱上；
所述Z軸滑塊(62)連接于所述B軸旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(7)，且其底部與所述Z軸導(dǎo)軌(61)可滑動連接；
所述Z軸伺服電機(jī)(63)固定于所述Z軸立柱上，與所述控制系統(tǒng)電性連接，其輸出端通過所述Z軸同步帶組件帶動Z軸絲杠轉(zhuǎn)動；
所述Z軸絲杠螺母套接于所述Z軸絲杠上，且固定于所述B軸旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(7)一側(cè)。
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