[實用新型]一種提升雙面PERC電池外觀良率并降低酸耗的刻蝕槽

有效

• 申請號: 201920548320.9
• 申請日: 2019-04-22
• 公開（公告）號: CN209561349U
• 公開（公告）日: 2019-10-29
• 發明（設計）人: 張元秋
• 申請（專利權）人: 通威太陽能（成都）有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 成都弘毅天承知識產權代理有限公司 51230
• 代理人: 李春霖

本實用新型公開了一種提升雙面PERC電池外觀良率并降低酸耗的刻蝕槽，涉及晶硅太陽能電池生產設備技術領域，本實用新型包括刻蝕槽主體，所述刻蝕槽主體內設有刻蝕液，所述刻蝕槽主體內置有若干用于帶動刻蝕液的滾輪，所述刻蝕液未完全淹沒滾輪，所述滾輪上設有螺紋，所述螺紋的螺紋深度范圍在0.2mm～2mm，所述螺紋的螺紋間距范圍在0.2mm～3mm，本實用新型解決了亮邊造成的背面外觀異常，提升產品外觀良率，同時又能降低酸耗。

技術領域

本實用新型屬于晶硅太陽能電池生產設備技術領域，具體涉及一種提升雙面PERC電池外觀良率并降低酸耗的刻蝕槽。

背景技術

現常用的PERC電池制造工藝流程為：制絨-磷擴散-背面刻蝕-退火-Al2O3鍍膜-背面SiNx鍍膜-正面SiNx鍍膜-背面激光開槽-絲網印刷-燒結，對此工藝稍做調整，包括略微降低背面刻蝕的腐蝕量、降低背面SiNx膜厚、改背面全鋁背場鋁漿印刷為激光開槽位置鋁柵線印刷，便可將單面PERC電池升級為雙面PERC電池。

與單面PERC電池相比，雙面PERC電池背面可吸光發電，測試轉換效率可達到14％～18％，搭配雙面雙波組件工藝制程的組件可吸收地面反射及空氣等散射的光進行發電，根據安裝環境的不同組件發電量可增加5％～30％。雙面PERC電池在與單面PERC電池成本相當的情況下，可得到明顯的發電量增益，展現了其良好的應用前景。

早期背面刻蝕采用的方式是“水上漂”刻蝕，需使用氫氟酸、硝酸、硫酸，由于其液位較高，淹沒滾輪，過刻問題較為嚴重。以此為基礎，目前較為常用的刻蝕方法為細螺紋滾輪帶液刻蝕，其省去了對硫酸的使用，解決了硫酸排廢的問題，同時改善了“水上漂”刻蝕中的過刻問題，但缺點在于其液位低，細螺紋滾輪轉動時帶起的酸液量較少，為在短時間內達到相同的腐蝕量，其酸液的濃度更大、溫度更高，因此揮發和溢流的酸更多，導致酸耗更大，更為嚴重的缺點是，刻蝕過程中，硅片前段與液體接觸較少，而尾端與液體接觸較多，因此整面腐蝕量不均勻，硅片尾端會出現一條腐蝕較深的亮邊，影響外觀，對于背面全覆蓋鋁漿的單面PERC電池，其影響不明顯，但對于雙面PERC電池而言，亮邊將造成明顯外觀不良，導致產品外觀良率大大降低。

實用新型內容

本實用新型的目的在于：為改善由刻蝕造成的外觀不良問題，提升產品外觀良率，同時降低酸耗，提供一種提升雙面PERC電池外觀良率并降低酸耗的刻蝕槽。

本實用新型采用的技術方案如下：

一種提升雙面PERC電池外觀良率并降低酸耗的刻蝕槽，包括刻蝕槽主體，所述刻蝕槽主體內設有刻蝕液，所述刻蝕槽主體內置有若干用于帶動刻蝕液的滾輪，所述刻蝕液未完全淹沒滾輪，所述滾輪上設有螺紋，所述螺紋的螺紋深度范圍在0.2mm～2mm，所述螺紋的螺紋間距范圍在0.2mm～3mm。

作為優選，所述刻蝕液液位上方滾輪露出部分高度范圍在0.1mm～3mm。

作為優選，所述相鄰兩滾輪的間距范圍在10m～100mm。

作為優選，滾輪直徑范圍在15mm～40mm。

作為優選，所述滾輪的數量為8個。

綜上所述，由于采用了上述技術方案，本實用新型的有益效果是：

1、本實用新型中，本方案工作時，通過電機提供動力帶動滾輪旋轉，滾輪上設有的螺紋的螺紋深度范圍在0.2mm～2mm，螺紋的螺紋間距范圍在0.2mm～3mm，滾輥轉動帶起酸液及毛細作用，硅片基本與酸液完全接觸，整面均勻腐蝕，避免了硅片尾端會出現一條腐蝕較深的亮邊，與現有技術的螺紋滾輪帶液刻蝕相比，硅片與酸液接觸面積更大，整片硅片平均與酸液接觸時間更長，因此同樣的腐蝕量需求下，本實用新型所需酸液濃度更小，所需反應溫度更低，由于揮發、溢流造成的酸排放量更低；本方案解決了亮邊造成的背面外觀異常，提升產品外觀良率，同時又能降低酸耗。

附圖說明