[實用新型]一種靶材澆鑄設備

有效

• 申請號: 201920544227.0
• 申請日: 2019-04-19
• 公開（公告）號: CN210237757U
• 公開（公告）日: 2020-04-03
• 發明（設計）人: 黃勇彪;林文寶;劉海燕;李寶英
• 申請（專利權）人: 深圳市眾誠達應用材料科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B22C9/22
• 代理公司: 深圳市瑞方達知識產權事務所(普通合伙) 44314
• 代理人: 林儉良

1.一種靶材澆鑄設備，其特征在于，包括分開相對設置的第一底板(2)和第二底板(3)、以及夾緊設置在所述第一底板(2)和所述第二底板(3)之間的模具(1)，其中，

所述模具包括內管(11)與外管(12)，在所述內管(11)與所述外管(12)之間形成澆鑄空間；

所述第一底板(2)包括第一板狀主體，在所述第一板狀主體的一側端面精加工出分別與所述內管(11)與所述外管(12)一端對應的第一定位槽和第二定位槽；

所述第二底板(3)包括第二板狀主體，在所述第二板狀主體的一側端面精加出分別與所述內管(11)與所述外管(12)另一端對應的第三定位槽和第四定位槽；

所述第一底板(2)和/或所述第二底板(3)上設置有與所述澆鑄空間連通的澆鑄通道(21)。

2.根據權利要求1所述的靶材澆鑄設備，其特征在于，還包括將所述第一底板(2)與所述第二底板(3)進行固定進而夾緊所述模具(1)的固定組件(4)。

3.根據權利要求2所述的靶材澆鑄設備，其特征在于，所述固定組件(4)包括至少兩根支撐桿(41)；所述支撐桿(41)包括桿體(411)以及設置在所述桿體(411)底部的支撐部(412)。

4.根據權利要求3所述的靶材澆鑄設備，其特征在于，所述第一底板(2)與所述第二底板(3)兩端分別開設用于供所述桿體(411)穿設其中的通孔。

5.根據權利要求4所述的靶材澆鑄設備，其特征在于，所述桿體(411)穿設并突出于所述通孔，所述支撐部(412)與所述第一底板(2)或所述第二底板(3)的板面貼合。

6.根據權利要求5所述的靶材澆鑄設備，其特征在于，所述固定組件(4)還包括設置在所述桿體(411)遠離所述支撐部(412)一端的鎖緊件(42)。

7.根據權利要求6所述的靶材澆鑄設備，其特征在于，所述鎖緊件(42) 為鎖緊螺母，所述桿體(411)遠離所述支撐部(412)一端的表面設置與所述鎖緊螺母相配合的螺紋；

所述鎖緊螺母沿所述桿體(411)軸向運動將所述支撐桿(41)鎖緊或松開進而將所述第一底板(2)與所述第二底板(3)進行限位固定或松開從而將所述模具(1)夾緊在所述第一底板(2)與所述第二底板(3)之間或使得所述模具(1)松開遠離所述第一底板(2)與所述第二底板(3)。

8.根據權利要求1所述的靶材澆鑄設備，其特征在于，還包括粘覆在所述外管(12)內壁表面的板材。

9.根據權利要求8所述的靶材澆鑄設備，其特征在于，所述板材為石墨紙。

10.根據權利要求1所述的靶材澆鑄設備，其特征在于，還包括對所述澆鑄通道(21)進行密封的密封件。