[實用新型]一種半導(dǎo)體氮化鈦氣相沉積裝置上端罩洗凈浸泡治具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920540856.6
• 申請日: 2019-04-19
• 公開（公告）號: CN209829724U
• 公開（公告）日: 2019-12-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳智慧;朱光宇;張正偉;李泓波;賀賢漢
• 申請（專利權(quán)）人: 富樂德科技發(fā)展(大連)有限公司
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08;B08B13/00
• 代理公司: 21235 大連智高專利事務(wù)所(特殊普通合伙)
• 代理人: 蓋小靜

本實用新型公開了一種半導(dǎo)體氮化鈦氣相沉積裝置上端罩洗凈浸泡治具，包括浸泡治具本體、圓形立柱、支腿、側(cè)壁加強筋板、掛鉤、銷釘、頂端蓋和排液管；所述浸泡治具本體為中空結(jié)構(gòu)，在中空結(jié)構(gòu)內(nèi)設(shè)有圓形立柱；在浸泡治具本體底部四周設(shè)有支腿，所述側(cè)壁加強筋板位于浸泡治具本體的側(cè)板外壁中部；所述浸泡治具本體其中一組相對設(shè)置的側(cè)板內(nèi)壁上部設(shè)有掛鉤，所述掛鉤與銷釘插拔式相連，銷釘位于相應(yīng)的側(cè)板外壁上部，所述浸泡治具本體底部通過閥門連接有排液管，所述頂端蓋蓋在浸泡治具本體上。由于該治具的使用，節(jié)省了大量的酸堿溶液，現(xiàn)場作業(yè)拿取方便，大大的增加了生產(chǎn)效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種浸泡治具，具體說是一種半導(dǎo)體氮化鈦氣相沉積裝置上端罩洗凈浸泡治具。

背景技術(shù)

目前在對半導(dǎo)體氮化鈦氣相沉積裝置上端罩洗凈再生過程中，由于部品表面附著一層化學(xué)膜，需要采用泡酸或堿的方式將其去除，待去除后再進行下個工序的其他處理。現(xiàn)有技術(shù)中浸泡此部品的是一個方形的槽，槽子尺寸遠大于部品尺寸，槽子的高度也遠大于部品尺寸，每次在槽內(nèi)配好酸堿比例后將此部品放置在槽內(nèi)，待全部化學(xué)沉積膜去掉后，將部品取出。由于浸泡槽的尺寸大，此部品屬于環(huán)狀結(jié)構(gòu)，因此需要的化學(xué)品比較多，造成現(xiàn)場生產(chǎn)成本提高，而且由于槽體整體的高度較高，拿取部品比較困難，現(xiàn)場員工容易賤到酸堿，造成工傷。

實用新型內(nèi)容

為解決現(xiàn)有技術(shù)存在上述問題，本申請?zhí)峁┮环N半導(dǎo)體氮化鈦氣相沉積裝置上端罩洗凈浸泡治具，節(jié)省大量的酸堿溶液，現(xiàn)場作業(yè)拿取方便，大大的增加了生產(chǎn)效率。

為實現(xiàn)上述目的，本申請的技術(shù)方案為：一種半導(dǎo)體氮化鈦氣相沉積裝置上端罩洗凈浸泡治具，包括浸泡治具本體、圓形立柱、支腿、側(cè)壁加強筋板、掛鉤、銷釘、頂端蓋和排液管；所述浸泡治具本體為中空結(jié)構(gòu)，在中空結(jié)構(gòu)內(nèi)設(shè)有圓形立柱；在浸泡治具本體底部四周設(shè)有支腿，所述側(cè)壁加強筋板位于浸泡治具本體的側(cè)板外壁中部；所述浸泡治具本體其中一組相對設(shè)置的側(cè)板內(nèi)壁上部設(shè)有掛鉤，所述掛鉤與銷釘插拔式相連，銷釘位于相應(yīng)的側(cè)板外壁上部，所述浸泡治具本體底部通過閥門連接有排液管，所述頂端蓋蓋在浸泡治具本體上。

進一步的，所述頂端蓋的兩側(cè)設(shè)有把手。

進一步的，所述頂端蓋上設(shè)有可視化窗口。

進一步的，所述浸泡治具本體采用PP材質(zhì)。

進一步的，所述浸泡治具本體其中一組相對設(shè)置的側(cè)板內(nèi)壁上部對稱設(shè)有兩個掛鉤，每個掛鉤與銷釘插拔式相連，銷釘位于相應(yīng)的側(cè)板外壁上部。

更進一步的，待洗凈部件穿過圓形立柱懸掛在中空結(jié)構(gòu)內(nèi)。

更進一步的，浸泡治具本體的體積可以根據(jù)待洗凈部件大小進行設(shè)計。

本實用新型由于采用以上技術(shù)方案，能夠取得如下的技術(shù)效果：治具選用PP材質(zhì)，耐熱性好，其熱變形溫度范圍廣，有良好的耐應(yīng)力開裂性，很高的彎曲疲勞壽命，且質(zhì)量輕盈、韌性好、耐化學(xué)性好，耐酸堿，經(jīng)過清洗后可多次重復(fù)使用。本申請的浸泡治具尺寸可以按照氮化鈦部品的尺寸進行設(shè)計，能同時浸泡多個圓形部件。節(jié)省大量的酸堿溶液，現(xiàn)場作業(yè)拿取方便，大大的增加了生產(chǎn)效率。

附圖說明

圖1為浸泡治具本體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本申請結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本申請俯視圖；

圖4為本申請剖視圖；

圖中序號說明：1、頂端蓋，11、把手，12、可視化窗口，2、側(cè)壁加強筋板，3、支腿，4、排液管，5、銷釘，6、掛鉤，7、圓形立柱，8、浸泡治具本體。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步詳細的描述：以此為例對本申請做進一步的描述說明。