[實用新型]一種真空吸附載物臺

有效

• 申請號: 201920522847.4
• 申請日: 2019-04-17
• 公開（公告）號: CN210166287U
• 公開（公告）日: 2020-03-20
• 發明（設計）人: 陳曉紅;楊旭;王雅晨;王楠;盧啟萌
• 申請（專利權）人: 司法鑒定科學研究院
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 沈棟棟

1.一種真空吸附載物臺，其特征在于，包括載物臺主體、真空油泵、吸氣管和金屬包邊，所述載物臺主體包括微孔陶瓷板，且所述微孔陶瓷板的內部設有密閉腔體，所述微孔陶瓷板的上表面均勻的設有若干吸附孔，每一所述吸附孔均與所述密閉腔體連通，且每一所述吸附孔的孔徑均為100nm，所述微孔陶瓷板的兩側均設有一吸氣孔，兩所述吸氣孔相正對，且兩所述吸氣孔分別與所述密閉腔體連通，所述真空油泵通過所述吸氣管分別與兩所述吸氣孔連接，所述微孔陶瓷板的外緣設有所述金屬包邊。

2.如權利要求1所述的真空吸附載物臺，其特征在于，還包括第一螺釘，所述金屬包邊遠離所述微孔陶瓷板一側通過若干所述第一螺釘與所述微孔陶瓷板連接，且每一所述第一螺釘橫向設置。

3.如權利要求2所述的真空吸附載物臺，其特征在于，還包括第二螺釘，所述金屬包邊的上表面設有若干所述第二螺釘，且每一所述第二螺釘均縱向設置。

4.如權利要求3所述的真空吸附載物臺，其特征在于，所述第一螺釘和所述第二螺釘各設有四個。

5.如權利要求1所述的真空吸附載物臺，其特征在于，所述金屬包邊為不銹鋼材料。

6.如權利要求1所述的真空吸附載物臺，其特征在于，所述微孔陶瓷板的長度為289mm，所述微孔陶瓷板的寬度為202mm。

7.如權利要求1所述的真空吸附載物臺，其特征在于，所述金屬包邊的長度為320mm，所述金屬包邊的寬度為230mm。

8.如權利要求1所述的真空吸附載物臺，其特征在于，所述金屬包邊的高度為20mm。