[實用新型]一種細絲機制的小面積電極阻變存儲器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201920522337.7 | 申請日： | 2019-04-17 |
| 公開（公告）號： | CN210120153U | 公開（公告）日： | 2020-02-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 魏凌;劉平安;付春玲 | 申請（專利權(quán)）人： | 河南大學(xué) |
| 主分類號： | H01L45/00 | 分類號： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 鄭州優(yōu)盾知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 41125 | 代理人： | 鄭園 |
| 地址： | 475004 河*** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 細絲 機制 面積 電極 存儲器 | ||
1.一種細絲機制的小面積電極阻變存儲器，其特征在于，所述阻變存儲器的結(jié)構(gòu)從上到下依次是多個上電極，絕緣介質(zhì)薄膜，阻變層薄膜，下電極層，襯底層，其中下電極層與阻變層為歐姆接觸，絕緣介質(zhì)薄膜的熱擊穿電壓ET1小于阻變層薄膜ET2。
2.如權(quán)利要求1所述的細絲機制的小面積電極阻變存儲器，其特征在于，利用探針接觸上電極，探針的針尖面積小于電極面積，施加直流電壓ET0,其中ET1≤ET0＜ET2，該電壓ET0熱擊穿絕緣層，而在上電極與阻變層之間形成導(dǎo)電通路，該導(dǎo)電通路的橫截面積即為上電極的有效面積。
3.如權(quán)利要求2所述的細絲機制的小面積電極阻變存儲器，其特征在于，絕緣介質(zhì)薄膜為熱導(dǎo)率低的有機樹脂膜，為苯并環(huán)丁烯膜。
4.如權(quán)利要求2所述的細絲機制的小面積電極阻變存儲器，其特征在于，所述絕緣介質(zhì)薄膜為射頻濺射制備的Si3N4或Al2O3,薄膜厚度為5-10nm。
5.如權(quán)利要求2所述的細絲機制的小面積電極阻變存儲器，其特征在于，所述絕緣介質(zhì)薄膜為陽極氧化制備的TiO2,薄膜厚度為5-10nm。
6.如權(quán)利要求2所述的細絲機制的小面積電極阻變存儲器，其特征在于，所述阻變層薄膜的材料為單層或多層。
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