[實用新型]一種鍍膜設備中的加熱傳感裝置及鍍膜設備

有效

• 申請號: 201920522140.3
• 申請日: 2019-04-17
• 公開（公告）號: CN209906878U
• 公開（公告）日: 2020-01-07
• 發明（設計）人: 徐榮楨
• 申請（專利權）人: 昆山龍騰光電有限公司
• 主分類號: C23C16/46
• 分類號: C23C16/46;C23C16/52
• 代理公司: 11332 北京品源專利代理有限公司
• 代理人: 孟金喆

1.一種鍍膜設備中的加熱傳感裝置，包括溫度傳感部件、加熱傳感基板和控制部件，所述溫度傳感部件與所述控制部件電連接，以將采集的所述加熱傳感基板的加熱溫度發送至所述控制部件，其特征在于，所述加熱傳感基板包括沿基板中心到邊緣依次設置的第一磁場產生部件和第二磁場產生部件；沿基板中心到邊緣依次設置的第一熱量產生部件和第二熱量產生部件；

所述控制部件分別與所述第一磁場產生部件以及所述第二磁場產生部件連接，以控制所述第一磁場產生部件產生變化的磁場以及控制所述第二磁場產生部件產生變化的磁場；

所述第一熱量產生部件與所述第一磁場產生部件對應設置，穿過所述第一熱量產生部件的磁通量基于所述第一磁場產生部件的磁場變化而變化，以及所述第二熱量產生部件與所述第二磁場產生部件對應設置，穿過所述第二熱量產生部件的磁通量基于所述第二磁場產生部件的磁場變化而變化。

2.根據權利要求1所述的鍍膜設備中的加熱傳感裝置，其特征在于，穿過所述第二熱量產生部件的磁通量的變化率大于穿過所述第一熱量產生部件的磁通量的變化率；

和/或，所述第二磁場部件產生磁場的時間大于所述第一磁場產生部件產生磁場的時間。

3.根據權利要求2所述的鍍膜設備中的加熱傳感裝置，其特征在于，所述第一磁場產生部件和所述第二磁場產生部件為相互獨立的兩個電感線圈，且靠近基板邊緣的電感線圈中的電流大于靠近基板中心的電感線圈中的電流；

和/或，靠近基板邊緣的電感線圈中通入電流的時間大于靠近基板中心的電感線圈中通入電流的時間。

4.根據權利要求2所述的鍍膜設備中的加熱傳感裝置，其特征在于，所述第一磁場產生部件和所述第二磁場產生部件為電連接的兩段電磁線圈，且靠近基板邊緣的一段電感線圈的纏繞密度大于靠近基板中心的一段電感線圈的纏繞密度。

5.根據權利要求2所述的鍍膜設備中的加熱傳感裝置，其特征在于，所述控制部件還包括轉盤，所述第一磁場產生部件和所述第二磁場產生部件均包括多個永久磁體鐵，且靠近基板邊緣的永久磁鐵的排布密度大于靠近基板中心的永久磁鐵的排布密度；

多個永久磁鐵設置于所述轉盤中，且多個永久磁鐵產生的磁場的空間分布隨轉盤的旋轉而變化；

其中，所述第一磁場產生部件中至少部分的永久磁體的N極朝向所述加熱傳感基板的加熱面，且至少部分的永久磁體的S極朝向所述加熱傳感基板的加熱面；所述第二磁場產生部件中至少部分的永久磁體的N極朝向所述加熱傳感基板的加熱面，且至少部分的永久磁體的S極朝向所述加熱傳感基板的加熱面。

6.根據權利要求1-3任一項所述的鍍膜設備中的加熱傳感裝置，其特征在于，所述第一熱量產生部件和所述第二熱量產生部件為相互獨立的兩個導電殼體，且所述兩個導電殼體分別絕緣包覆于所述第一磁場產生部件以及所述第二磁場產生部件外。

7.根據權利要求1-4任一項所述的鍍膜設備中的加熱傳感裝置，其特征在于，所述第一熱量產生部件和所述第二熱量產生部件為連接于一體的一個導電殼體，且所述一個導電殼體絕緣包覆于所述第一磁場產生部件和所述第二磁場產生部件外。

8.根據權利要求3或4所述的鍍膜設備中的加熱傳感裝置，其特征在于，所述第一熱量產生部件與所述電感線圈之間填充有絕緣材料，且所述第二熱量產生部件與所述電感線圈之間填充有絕緣材料；

或，繞制電感線圈的線纜外包覆有絕緣層。