[實用新型]一種異形基材的曝光裝置有效
| 申請號: | 201920522081.X | 申請日: | 2019-04-17 |
| 公開(公告)號: | CN209674183U | 公開(公告)日: | 2019-11-22 |
| 發明(設計)人: | 謝為芝;朱雁;曾一鑫 | 申請(專利權)人: | 信元光電有限公司 |
| 主分類號: | G03F7/20 | 分類號: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 44102 廣州粵高專利商標代理有限公司 | 代理人: | 許青華;廖苑濱<國際申請>=<國際公布> |
| 地址: | 516600 廣東省汕*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 異形基材 夾具 異形 掩膜板 本實用新型 磁吸附裝置 曝光光源 壓緊固定 貼合 形貌 非平面狀 感光油墨 曝光制程 曝光裝置 曝光 美觀 腐蝕 圖案 清晰 | ||
1.一種異形基材的曝光裝置,其特征在于,其包括:
異形基材,所述異形基材為非平面狀;
柔性掩膜板,貼合于所述異形基材上;
異形夾具,所述異形夾具具有與所述異形基材相適應的起伏形貌的表面,用于放置所述異形基材;
磁吸附裝置,用于將所述柔性掩膜板、異形基材和異形夾具壓緊固定;
曝光光源,用于使異形基材上的感光油墨曝光。
2.如權利要求1所述的曝光裝置,其特征在于,所述磁吸附裝置包括設于所述柔性掩膜板上的第一磁鐵、和設于所述異形夾具上的第二磁鐵,所述第一磁鐵和第二磁鐵相對設置,所述第一磁鐵底部的磁極和所述第二磁鐵頂部的磁極為相反的磁極。
3.如權利要求2所述的曝光裝置,其特征在于,所述第一磁鐵和第二磁鐵均為永磁鐵。
4.如權利要求2所述的曝光裝置,其特征在于,所述第一磁鐵為在柔性掩膜板上間隔設置的磁鐵陣列;所述第二磁鐵為在異形夾具上間隔設置的磁鐵陣列。
5.如權利要求1所述的曝光裝置,其特征在于,所述柔性掩膜板采用柔性材料制成。
6.如權利要求5所述的曝光裝置,其特征在于,所述柔性材料為菲林、PET或PI。
7.如權利要求1所述的曝光裝置,其特征在于,所述異形夾具由硬質材料制成。
8.如權利要求7所述的曝光裝置,其特征在于,所述硬質材料為木質、鋁質、銅質、錫質、不銹鋼、鋁合金、或陶瓷。
9.如權利要求1所述的曝光裝置,其特征在于,所述曝光光源包括若干個平行設置的UVLED燈。
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