[實(shí)用新型]一種旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)及垂直擴(kuò)散爐

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920519980.4
• 申請(qǐng)日: 2019-04-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209947815U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-01-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 雷國(guó)鴻;陳伯廷;吳宗祐;林宗賢
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 德淮半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/687
• 分類號(hào): H01L21/687;H01L21/67
• 代理公司: 31295 上海思捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 王宏婧

1.一種旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括：

底座；

驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，設(shè)置于所述底座上；

隔離罩，設(shè)置于所述底座上并罩設(shè)所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，以使所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與外界隔離；

支撐機(jī)構(gòu)，設(shè)置于所述隔離罩的外部；

傳動(dòng)磁組，包括第一磁體和第二磁體，所述第一磁體設(shè)置在所述隔離罩內(nèi)，所述第二磁體設(shè)置在所述支撐機(jī)構(gòu)上；以及，

懸浮磁組，包括第三磁體和第四磁體，所述第三磁體設(shè)置于所述隔離罩上，所述第四磁體設(shè)置于所述支撐機(jī)構(gòu)上；

其中：當(dāng)所述第一磁體被所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)水平旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述第二磁體與所述第一磁體相吸設(shè)置而使所述支撐機(jī)構(gòu)隨所述第一磁體同步水平旋轉(zhuǎn)，所述第三磁體和第四磁體相斥設(shè)置而使所述支撐機(jī)構(gòu)及所述第二磁體懸浮在所述隔離罩的外部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)還包括補(bǔ)償磁組，所述補(bǔ)償磁組包括相斥設(shè)置的第五磁體和第六磁體，所述第五磁體設(shè)置在所述支撐機(jī)構(gòu)上，所述第六磁體設(shè)置于所述底座上；

其中，所述第五磁體和第六磁體之間的作用力能夠調(diào)節(jié)，以使所述第二磁體與所述底座間的距離始終保持在一預(yù)設(shè)值。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第五磁體和第六磁體中的至少一個(gè)為電磁鐵。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)還包括一控制單元，用于調(diào)節(jié)所述第五磁體與第六磁體之間的作用力。

5.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)還包括一距離監(jiān)測(cè)裝置，用于監(jiān)測(cè)所述第二磁體與所述底座間的距離。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)還包括一控制單元，與所述距離監(jiān)測(cè)裝置連接；所述控制單元用于根據(jù)所述第二磁體與所述底座間的距離，調(diào)節(jié)所述第五磁體與第六磁體之間的作用力。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)具有一豎向布置的輸出軸，所述輸出軸位于所述隔離罩內(nèi)；

其中，所述第一磁體用于繞所述輸出軸水平旋轉(zhuǎn)，并且所述第一磁體和/或第二磁體圍繞所述輸出軸呈環(huán)形布置并與所述輸出軸同軸設(shè)置。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第一磁體和所述第二磁體的磁極相互正對(duì)地設(shè)置。

9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述懸浮磁組包括第一懸浮磁組和第二懸浮磁組，至少一個(gè)所述第一懸浮磁組和至少一個(gè)所述第二懸浮磁組上下分開(kāi)設(shè)置；

其中，至少一個(gè)所述第一懸浮磁組用于在第一方向上形成第一作用力，同時(shí)至少一個(gè)所述第二懸浮磁組用于在第二方向上形成第二作用力，并且所述第一方向與所述第二方向在非水平面上相交，以使所有懸浮磁組分別在水平方向和豎直方向上產(chǎn)生的作用力相平衡。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述隔離罩包括相互連接的下隔離罩和上隔離罩，所述上隔離罩設(shè)置在所述下隔離罩的上方，所述下隔離罩罩設(shè)所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；

所述支撐機(jī)構(gòu)包括相互連接的下支撐體和上支撐體，所述上支撐體設(shè)置在所述下支撐體的上方，所述下支撐體與所述下隔離罩相對(duì)設(shè)置，所述上支撐體與所述上隔離罩相對(duì)設(shè)置；

所述第二磁體設(shè)置在所述下支撐體上，所述下支撐體與所述下隔離罩間設(shè)有至少一個(gè)第一懸浮磁組，且所述第一懸浮磁組位于所述第二磁體的上方，所述上支撐體與所述上隔離罩間設(shè)有至少一個(gè)第二懸浮磁組；

其中，所述下隔離罩和所述上隔離罩形成兩個(gè)相互對(duì)稱的“V”型結(jié)構(gòu)，和/或所述下支撐體和所述上支撐體形成兩個(gè)相互對(duì)稱的“V”型結(jié)構(gòu)。

11.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第一磁體、第二磁體、第三磁體和第四磁體中的至少一個(gè)為釤鈷永磁體。