[實用新型]一種可移動的光刻板固定夾具

有效

• 申請號: 201920519600.7
• 申請日: 2019-04-17
• 公開（公告）號: CN211403119U
• 公開（公告）日: 2020-09-01
• 發明（設計）人: 曲迪;閆青芝;陳墨;白國人;宋學穎;靳春艷
• 申請（專利權）人: 天津華慧芯科技集團有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 天津市鼎和專利商標代理有限公司 12101
• 代理人: 許愛文

本實用新型公開了一種可移動的光刻板固定夾具，涉及半導體制備設備技術領域，包括可移動的支撐臺和若干組真空吸附裝置，涉及半導體制備設備技術領域，所述支撐臺上開設有圓形通孔，所述真空吸附裝置沿所述通孔的周向均勻的設在支撐臺的上端面；光刻板通過真空吸附裝置居中的吸附在支撐臺的下端面。每組所述真空吸附裝置包括若干個與所述通孔同軸設置的通透真空孔，每組真空吸附裝置中的真空孔上端面設有一個與支撐臺吸附的真空吸盤；所述真空吸盤的底部中心設有與該組真空孔連通的真空管；所有真空管的末端與一個真空開關連接。該固定夾具不僅便于調整光刻板位置、而且使用方便快捷，能根據需要隨時移動到指定位置。

技術領域

本實用新型涉及半導體制備設備技術領域，特別地，涉及到一種可移動的光刻板固定夾具。

背景技術

在半導體制造中，芯片的制作一般都要采用基片的光刻技術；用于這些步驟的圖形“底片”稱為光刻板(也稱作掩膜板)，其作用是：在基片上選定的區域中對一個不透明的圖形模板遮蓋，繼而下面的腐蝕或擴散將只影響選定的區域以外的區域。

實驗和生產中基片的位置固定不動時，光刻板的圖形需要根據具體要求進行調整；但是目前用于固定光刻板的真空吸盤及真空槽是設在光刻機上的，光刻機位置固定，從而限制了光刻板的移動。因此迫切需要一種可移動的光刻板固定夾具。

實用新型內容

本實用新型針對現有技術中存在的上述技術問題，提供了一種可移動的光刻板固定夾具。該夾具不僅便于調整光刻板位置、而且使用方便快捷，能根據需要隨時移動到指定位置。

本實用新型為解決公知技術中存在的技術問題所采取的技術方案是：

一種可移動的光刻板固定夾具，包括底面積大于光刻板面積的可移動的支撐臺和若干組真空吸附裝置，所述支撐臺上開設有圓形通孔，所述真空吸附裝置沿所述通孔的周向均勻的設在支撐臺的上端面；光刻板通過真空吸附裝置居中的吸附在支撐臺的下端面。

進一步，每組所述真空吸附裝置包括若干個與所述通孔同軸設置的通透真空孔，每組真空吸附裝置中的真空孔上端面設有一個與支撐臺吸附的真空吸盤；所述真空吸盤的底部中心設有與該組真空孔連通的真空管；所有真空管的末端與一個真空開關連接。

進一步，所述真空吸附裝置為四組。

進一步，每組真空吸附裝置中的真空孔數量相等且形狀和尺寸大小相同。

進一步，所述支撐臺下方相對的兩側設有萬向輪；所述萬向輪上設有鎖定機構。

更進一步，所述支撐臺的一側還設有拖動用的手柄，所述手柄包括水平部和豎直部，所述水平部和豎直部的相接處采用便于手持的圓弧過渡連接。

本實用新型具有的優點和積極效果是：

本實用新型中光刻板通過若干組真空吸附裝置吸附在一個可移動的支撐臺下端面，所述支撐臺上開設有圓形通孔，光刻板覆蓋所述通孔及真空吸附裝置的下端面，且光刻板的工作部位通過所述通孔接收上方來自光刻機的紫外光；由于支撐臺可移動，因此可以根據需要隨時進行位置調整。

該夾具不僅結構簡單、合理實用，而且若干組真空吸附裝置的吸附更加牢固，也不會對光刻板造成損傷，利于提高成品芯片的合格率。

附圖說明：

圖1是本實用新型優選實施例中光刻板固定夾具的正視圖；

圖2是本實用新型優選實施例中光刻板固定夾具的仰視圖。

其中：1、光刻板；2、支撐臺；21、通孔；22、真空孔；3、真空吸盤；4、真空管；5、真空開關；6、萬向輪；7、鎖定機構；8、手柄；8a、水平部；8b、豎直部。

具體實施方式