[實用新型]一種高端基準級的單缸活塞式氣體流量標準裝置

有效

• 申請號: 201920512551.4
• 申請日: 2019-04-16
• 公開（公告）號: CN209945518U
• 公開（公告）日: 2020-01-14
• 發明（設計）人: 劉鑄;孫鴻;孫毓湖
• 申請（專利權）人: 宜賓機電一體化研究所
• 主分類號: G01F25/00
• 分類號: G01F25/00
• 代理公司: 51230 成都弘毅天承知識產權代理有限公司
• 代理人: 鄒敏菲

1.一種高端基準級的單缸活塞式氣體流量標準裝置，其特征在于，包括驅動及其相關機構(1)、底座(2)和缸體(3)，所述的缸體(3)為無法蘭的圓柱體形狀構件，且采用四個外部光杠(4)通過防松螺母組合拉緊在所述驅動及其相關機構(1)與所述底座(2)之間，驅動及其相關機構(1)包括互相連接的伺服電機(1-1)、減速器(1-2)、齒形同步輪帶(1-3)、滾珠螺母絲杠副(1-4)、缸體上蓋(1-5)和活塞(1-7)，所述的滾珠螺母絲杠副(1-4)的回轉螺母安裝在所述缸體上蓋(1-5)的中心，滾珠螺母絲杠副(1-4)的下端通過設置在活塞(1-7)下方的活塞法蘭(1-6)緊固連接，缸體上蓋(1-5)上還設置有球柵測量系統。

2.根據權利要求1所述的高端基準級的單缸活塞式氣體流量標準裝置，其特征在于,所述的活塞(1-7)的上方連接有三個內部光杠(1-8)，所述的內部光杠(1-8)的上方連接有絲杠上法蘭(1-10)，內部光杠(1-8)的下方與活塞法蘭(1-6)相連。

3.根據權利要求2所述的高端基準級的單缸活塞式氣體流量標準裝置，其特征在于，所述的內部光杠(1-8)的外部套設有直線滾珠導套(1-9)。

4.根據權利要求1所述的高端基準級的單缸活塞式氣體流量標準裝置，其特征在于,所述的缸體上蓋(1-5)上設置有指令控制開關(1-12)和斷電保護開關(1-11)。

5.根據權利要求1所述的高端基準級的單缸活塞式氣體流量標準裝置，其特征在于，所述的活塞法蘭(1-6)與絲杠上法蘭(1-10)均設置有行程位置發訊桿(1-13)，所述的行程位置發訊桿(1-13)為帶有凸臺(1-14)的階梯形轉軸。

6.根據權利要求1所述的高端基準級的單缸活塞式氣體流量標準裝置，其特征在于，所述的球柵測量系統包括相互連接的讀數頭(1-16)、球柵尺(1-17)和萬向球軸承(1-18)，所述的讀數頭(1-16)通過安裝架固定在缸體上蓋(1-5)上，讀數頭(1-16)上設置有配合孔，所述配合孔的內部套設了球柵尺(1-17)，所述的萬向球軸承(1-18)設置在球柵尺(1-17)的兩端。

7.根據權利要求1所述的高端基準級的單缸活塞式氣體流量標準裝置，其特征在于，所述的底座(2)為具有上凸緣的法蘭結構，包括一體連接的上凸緣、底座法蘭盤(2-2)和三個均勻分布的地腳(2-3)，所述的地腳(2-3)的高度可調節。

8.根據權利要求7所述的高端基準級的單缸活塞式氣體流量標準裝置，其特征在于，所述的上凸緣外側鑲嵌有O型橡膠密封圈(2-1)，所述的O型橡膠密封圈(2-1)與缸體(3)接觸配合。

9.根據權利要求1所述的高端基準級的單缸活塞式氣體流量標準裝置，其特征在于，所述底座(2)的法蘭邊緣設置有氣體出入口(2-4)、濕度智能傳感器(2-6)、溫度智能傳感器(2-7)和壓力智能傳感器(2-8)，所述的氣體出入口(2-4)和缸體(3)上的通道處設置有多個壓力監測開關(2-5)。

10.根據權利要求9所述的高端基準級的單缸活塞式氣體流量標準裝置，其特征在于，所述的濕度智能傳感器(2-6)下方的設置有網罩(2-10)，所述的溫度智能傳感器(2-7)的下方設置有開口式護套(2-9)。