[實用新型]晶圓鍍鎢膜加熱器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920499897.5
• 申請日: 2019-04-12
• 公開（公告）號: CN209854245U
• 公開（公告）日: 2019-12-27
• 發(fā)明（設計）人: 陳登葵
• 申請（專利權）人: 微芯科技有限公司
• 主分類號: C23C16/46
• 分類號: C23C16/46;C23C16/06
• 代理公司: 11314 北京戈程知識產權代理有限公司
• 代理人: 程偉;王錦陽

1.一種晶圓鍍鎢膜加熱器，其特征在于，包含：

一加熱盤，其具有：

一加熱平面，其位于該加熱盤的頂面；

一抽氣孔，其貫穿該加熱盤的該加熱平面及底面；

一內環(huán)槽，其凹設于該加熱平面上，且環(huán)繞該加熱平面的中心及該抽氣孔；

一外環(huán)槽，其凹設于該加熱平面上，且環(huán)繞該加熱平面的中心及該內環(huán)槽；

多個內徑向槽，其凹設于該加熱平面上，且環(huán)繞該加熱平面的中心間隔設置；所述內徑向槽的一端連通該抽氣孔，另一端連通該內環(huán)槽；

多個外徑向槽，其凹設于該加熱平面上，且環(huán)繞該加熱平面的中心間隔設置；所述外徑向槽的一端連通該內環(huán)槽，另一端連通該外環(huán)槽，且所述外徑向槽弧形地延伸；

多個彈片凹槽，所述彈片凹槽環(huán)繞該加熱平面間隔設置；

一真空裝置，該真空裝置連通該加熱盤的該抽氣孔；

一加熱裝置，其連接該加熱盤。

2.如權利要求1所述的晶圓鍍鎢膜加熱器，其特征在于，所述外徑向槽的數量大于所述內徑向槽的數量。

3.如權利要求2所述的晶圓鍍鎢膜加熱器，其特征在于，所述外徑向槽的數量為所述內徑向槽的數量的兩倍。

4.如權利要求1至3中任一項所述的晶圓鍍鎢膜加熱器，其特征在于，所述彈片凹槽位于該內環(huán)槽的外側，且各該彈片凹槽連通其中至少兩該外徑向槽。

5.如權利要求1至3中任一項所述的晶圓鍍鎢膜加熱器，其特征在于，該外環(huán)槽相鄰該加熱平面的周緣。

6.如權利要求1至3中任一項所述的晶圓鍍鎢膜加熱器，其特征在于，該加熱盤進一步具有：

一吹氣環(huán)槽，其凹設于該加熱盤的頂面，且位于該加熱平面的外側；

多個吹氣通道，其凹設于該加熱盤的底面，且環(huán)繞該加熱盤的中心間隔設置，各該吹氣通道與該吹氣環(huán)槽相連通。

7.如權利要求1至3中任一項所述的晶圓鍍鎢膜加熱器，其特征在于，該加熱盤進一步具有一中環(huán)槽，該中環(huán)槽凹設于該加熱平面上，且環(huán)繞該加熱平面的中心及該內環(huán)槽；該外環(huán)槽環(huán)繞該中環(huán)槽。

8.如權利要求1至3中任一項所述的晶圓鍍鎢膜加熱器，其特征在于，該晶圓鍍鎢膜加熱器進一步包含多個彈片，所述彈片分別設于該加熱盤的該多個彈片凹槽中，各該彈片的一側面突出有一凸點，各該彈片的該凸點選擇性地向上突出該加熱平面。