[實用新型]彎折管路防堵塞結構

有效

• 申請號: 201920482196.0
• 申請日: 2019-04-10
• 公開（公告）號: CN209876293U
• 公開（公告）日: 2019-12-31
• 發明（設計）人: 徐科;闞保國;劉家樺;葉日銓
• 申請（專利權）人: 德淮半導體有限公司
• 主分類號: F16L55/24
• 分類號: F16L55/24
• 代理公司: 31291 上海立群專利代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 楊楷;毛立群

本實用新型涉及管路連接結構技術領域，公開了一種彎折管路防堵塞結構，包括第一管道；第二管道；彎頭，與第一管道和第二管道分別連通，自第一管道流出的流體經彎頭流入第二管道內；刮刀，包括彎頭段，彎頭段設置在彎頭內；驅動單元，與刮刀連接，驅動單元構成為能夠驅動刮刀運動，且該刮刀的彎頭段的至少一部分運動行程靠近至少一部分彎頭的內壁。本實用新型的彎折管路防堵塞結構能夠自動對管路進行清潔，刮除管路內的附著物，避免附著物影響管路的抽取速率，有效解決管路堵塞問題，提高產品和設備的工作效率。

技術領域

本實用新型涉及管路連接結構技術領域，特別涉及一種彎折管路防堵塞結構。

背景技術

半導體是目前市面上電子產品不可或缺的核心組件，需求甚巨。在半導體制程中，如化學氣相沉積、刻蝕等制程中，會產生大量的具有可燃性、爆炸性以及腐蝕性的有害廢氣和生成物，如果對這些有害廢氣和生成物的處理達不到環保標準，會給周邊的環境帶來嚴重的污染。為了達到有害廢氣和生成物排放的環保要求，現在的半導體制程中都要設置相應的尾氣處理設備，將有害廢氣和生成物通過管路送到廢氣處理設備進行處理。

但是，在有害廢氣和生成物的傳輸過程中，傳輸管路不可避免會有彎角和大小轉接部位，有害廢氣和生成物很容易在這些部位堆積。堆積的有害廢氣和生成物將直接影響抽氣速率，而隨著有害廢氣和生成物堆積的越來越多，甚至會完全堵塞管路，導致產品報廢和設備損壞。

現有技術中，為避免管路發生堵塞，每個月都需要將管路拆除，然后對管路尤其是管路的彎頭處進行清潔，這給操作者的工作帶來了極大的不便。因此需要設置一種能夠自動清潔管路的裝置，從而有效解決管路堵塞問題。

實用新型內容

本實用新型為了解決上述技術問題而提出，目的在于提供一種彎折管路防堵塞結構。本實用新型的彎折管路防堵塞結構能夠自動對管路進行清潔，刮除管路內的附著物，避免附著物影響管路的抽取速率，有效解決管路堵塞問題，提高產品和設備的工作效率。

具體來說，本實用新型提供了一種彎折管路防堵塞結構，包括：

第一管道；

第二管道；

彎頭，與第一管道和第二管道分別連通，自第一管道流出的流體經彎頭流入第二管道內；

刮刀，包括彎頭段，彎頭段設置在彎頭內；

驅動單元，與刮刀連接，驅動單元構成為能夠驅動刮刀運動，且該刮刀的彎頭段的至少一部分運動行程靠近至少一部分彎頭的內壁。

有害氣體和生成物附著在第一管道和第二管道的交接處，并形成為附著物，相較于現有技術而言，本實用新型提供的彎折管路防堵塞結構，其驅動單元能夠驅動刮刀運動，刮刀的彎頭段在彎頭內運動，由于彎頭段靠近彎頭的內壁，所以刮刀的彎頭段可以刮除部分附著在彎頭段內的附著物，刮刀能夠清潔管路內的附著物，避免附著物影響管路的抽取速率，有效解決管路堵塞問題，提高產品和設備的工作效率。

另外，作為優選，刮刀與彎頭的內壁之間的間隙小于或者等于1mm。

根據該優選方案，刮刀能夠在有效刮除附著物的同時不會觸碰并損壞管路。

進一步地，作為優選，刮刀還包括管道段，管道段位于第二管道內并靠近第二管道的內壁。

根據該優選方案，管道段能夠刮除第二管道靠近彎頭部分的內壁上的附著物，提高刮刀清潔管路的效率。

另外，作為優選，第二管道的管徑小于第一管道的管徑，彎頭靠近第二管道的一端形成為過渡端，過渡端的管徑沿著軸向朝向第二管道減??；

刮刀還包括位于彎頭段與管道段之間的轉接段，轉接段靠近過渡端的內壁。