[實用新型]太陽能電池片生產用擴散尾排集酸系統

有效

• 申請號: 201920481430.8
• 申請日: 2019-04-10
• 公開（公告）號: CN209726843U
• 公開（公告）日: 2019-12-03
• 發明（設計）人: 袁華斌;張凱勝;姚偉忠;孫鐵囤
• 申請（專利權）人: 常州億晶光電科技有限公司
• 主分類號: F27D17/00
• 分類號: F27D17/00;H01L31/18;C01B25/16
• 代理公司: 32258 常州市英諾創信專利代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 朱麗莎<國際申請>=<國際公布>=<進入

本實用新型涉及太陽能電池片技術領域，尤其是涉及一種太陽能電池片生產用擴散尾排集酸系統，包括石英爐管，所述石英爐管上設置有尾管，還包括依次設置在尾管上的保溫區、冷卻區和真空區，所述保溫區包括隔熱棉和沖洗管，所述隔熱棉包裹在尾管上，本實用新型太陽能電池片生產用擴散尾排集酸系統在使用時，通過增保溫區的保溫材料包裹，可以保證氣體在出尾管這一段保持適當的高溫，使得偏磷酸蒸汽不會冷凝液化，通過保溫區的沖洗管帶有適量水汽的氮氣通到尾管中，并對尾管起到清潔作用，通過冷凝區的風扇，對出來的氣體進行降溫，使偏磷酸液化至瓶內，利用偏磷酸的融水特性，冷凝區的冷凝瓶中的水對偏磷酸有吸收作用。

技術領域

本實用新型涉及太陽能電池片技術領域，尤其是涉及一種太陽能電池片生產用擴散尾排集酸系統。

背景技術

目前在生產太陽能電池片的擴散工序中所使用的反應爐大多為石英爐管，整個工藝過程中均為爐口進氣，通過真空泵對石英爐管進行抽氣，同時引導氣體在爐體內均勻從爐口通向爐尾，直至通過尾排抽出；目前爐管反應過程中形成的一種產物五氧化二磷，富余的五氧化二磷會隨著其他氣體一起被抽出，磷極易溶于爐管內的少量水生成偏磷酸，偏磷酸為粘稠性物質，該氣體排除高溫的爐管外時，由于爐管內外溫差較大，高溫偏磷酸氣體易遇冷液化附在出氣管的管道內壁，日積月累容易堵塞爐管，再者偏磷酸具有的腐蝕性容易腐蝕石英玻璃，使得出氣管路破損，同時氣體遭遇的堵塞、漏氣均會導致工藝中的壓力異常，帶來返工困擾，尾管處存在積酸時，清理需將爐管整體降溫取出，再進行清洗，操作繁瑣，過量的酸沉積也會導致真空泵的隔膜腐蝕損壞，造成損失。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是：為了解決富余的五氧化二磷會隨著其他氣體一起被抽出，磷極易溶于爐管內的少量水生成偏磷酸，偏磷酸為粘稠性物質，該氣體排除高溫的爐管外時，由于爐管內外溫差較大，高溫偏磷酸氣體易遇冷液化附在出氣管的管道內壁，日積月累容易堵塞爐管，再者偏磷酸具有的腐蝕性容易腐蝕石英玻璃，使得出氣管路破損，同時氣體遭遇的堵塞、漏氣均會導致工藝中的壓力異常，帶來返工困擾，尾管處存在積酸時，清理需將爐管整體降溫取出，再進行清洗，操作繁瑣，過量的酸沉積也會導致真空泵的隔膜腐蝕損壞，造成損失的問題，現提供了一種太陽能電池片生產用擴散尾排集酸系統。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：一種太陽能電池片生產用擴散尾排集酸系統，包括石英爐管，所述石英爐管上設置有尾管，還包括依次設置在尾管上的保溫區、冷卻區和真空區，所述保溫區包括隔熱棉和沖洗管，所述隔熱棉包裹在尾管上，所述沖洗管的一端穿過隔熱棉與尾管連通，所述沖洗管的另一端與水槽連通，所述冷區卻包括冷卻瓶和風扇，所述冷卻瓶的內腔中設置有隔板，所述隔板將內腔分隔成兩個相互隔開的上腔體和下腔體，所述隔板上設置有將上腔體和下腔體連通的通孔，所述上腔體內設置有塑料粒子，所述風扇設置在上腔體內，所述下腔體內設置有水，所述尾管和下腔體之間設置有相互連通的外接管路，所述真空區包括真空泵，所述真空泵的輸入端連通外接管路與上腔體連通。通過水槽對尾管具有清洗作用，將五氧化二磷轉化為偏磷酸，通過增加保溫材料，防止尾管處溫差導致的偏磷酸液化，在易于積液的區域的冷卻，外加積液瓶內的水分，將五氧化二磷與酸液化沉積下來，達到搜集酸的效果。

進一步地，所述真空區還包括過濾器，所述過濾器設置在上腔體與真空泵之間的外接管路上。通過在空泵區的濾芯器，最后一道防護過濾氣體中的酸殘留，可有效阻隔偏磷酸腐蝕真空泵。