[實用新型]一種真空鍍膜的沉積裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201920481322.0 | 申請日： | 2019-04-10 |
| 公開（公告）號： | CN209989461U | 公開（公告）日： | 2020-01-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 傅其裕 | 申請（專利權(quán)）人： | 百騰科技(蘇州)有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/44 | 分類號： | C23C16/44;C23C16/458 |
| 代理公司： | 11350 北京科億知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人： | 湯東鳳 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 轉(zhuǎn)軸 從動帶輪 主動帶輪 沉積室 軸套 本實用新型 電機 沉積裝置 齒形皮帶 旋轉(zhuǎn)組件 真空鍍膜 鍍膜處理 鍍膜死角 電機軸 均勻性 側(cè)端 鍍膜 沉積 軸承 室內(nèi) 保證 | ||
1.一種真空鍍膜的沉積裝置，其特征在于：該種真空鍍膜的沉積裝置包括機架、沉積室、軸套、轉(zhuǎn)軸、從動帶輪、電機、主動帶輪、齒形皮帶和旋轉(zhuǎn)組件，所述機架上固定有沉積室，沉積室底部安裝有軸套，軸套里通過軸承插裝有轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸底部安裝有從動帶輪，機架側(cè)端還設(shè)有電機，電機的電機軸上安裝有主動帶輪，從動帶輪和主動帶輪通過齒形皮帶連接，沉積室內(nèi)的轉(zhuǎn)軸上設(shè)置有旋轉(zhuǎn)組件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空鍍膜的沉積裝置，其特征在于：所述沉積室包括腔體、腔體上蓋、腔體下蓋、進(jìn)料法蘭連接管、出料連接管和觀察窗口，所述腔體呈桶狀，腔體上部和上部分別安裝有腔體下蓋和腔體上蓋，腔體中部兩側(cè)分別連接有進(jìn)料法蘭連接管和出料連接管，所述進(jìn)料法蘭連接管與裂解管的對接法蘭固定連接，出料連接管連接到制冷機，腔體前部還設(shè)置有觀察窗口，腔體上還設(shè)置有偶聯(lián)劑接口和兩真空探頭接口。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空鍍膜的沉積裝置，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)組件包括底盤、連接桿、隔板和PCV管，所述底盤固定于轉(zhuǎn)軸上，底盤上豎直固定有三根連接桿，連接桿上等距套有隔板，隔板為1層～30層，相鄰隔板之間的連接桿上套有PCV管。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種真空鍍膜的沉積裝置，其特征在于：所述隔板上設(shè)有蜂窩孔。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學(xué)鍍覆，例如化學(xué)氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
