[實用新型]雙室化學氣相沉積爐爐口內外室密封/隔絕系統

有效

• 申請號: 201920478030.1
• 申請日: 2019-04-10
• 公開（公告）號: CN209836301U
• 公開（公告）日: 2019-12-24
• 發明（設計）人: 關剛剛;李少華;趙亞國
• 申請（專利權）人: 西安西爐特種電爐有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 61214 西安弘理專利事務所
• 代理人: 王蕊轉

1.一種雙室化學氣相沉積爐爐口內外室密封/隔絕系統，其特征在于，包括中空圓柱狀的C/C罐，C/C罐的上端設有T形的爐蓋，C/C罐的外壁從上至下分別依次同軸套接有水冷套和爐殼，水冷套恰好被卡在爐蓋上端面與C/C罐的罐口之間，且水冷套與C/C罐之間填充有密封結構。

2.根據權利要求1所述的一種雙室化學氣相沉積爐爐口內外室密封/隔絕系統，其特征在于，所述密封結構為環形的陶瓷纖維圓編繩，陶瓷纖維圓編繩同軸套接在C/C罐的外壁上。

3.根據權利要求2所述的一種雙室化學氣相沉積爐爐口內外室密封/隔絕系統，其特征在于，所述陶瓷纖維圓編繩將雙室化學沉積爐的內室和外室之間的空隙進行密封，防止內室的污染氣體逸入外室中。