[實用新型]一種高氫氣燃氣罩式退火爐爐臺清掃裝置

有效

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• 申請日: 2019-04-10
• 公開（公告）號: CN209886321U
• 公開（公告）日: 2020-01-03
• 發(fā)明（設計）人: 陶金寶;陳立森;趙雨;王彬;李鐵東;孟德志;李超;李彬;王明心;李健;姜作生
• 申請（專利權）人: 吉林華信新型結構科技有限公司
• 主分類號: B08B5/04
• 分類號: B08B5/04;B08B3/02;B08B1/00;B08B13/00;F26B21/00;F27D25/00
• 代理公司: 11212 北京輕創(chuàng)知識產(chǎn)權代理有限公司
• 代理人: 談杰

本實用新型揭示一種高氫氣燃氣罩式退火爐爐臺清掃裝置，包括清潔箱和退火爐爐臺，所述清潔箱內(nèi)腔的右側設置有水箱和烘烤鼓風箱，所述清潔箱內(nèi)腔的左側設置有吸塵箱，所述水箱和烘烤鼓風箱右側靠近底部的位置均固定連接有水管，兩個所述水管和吸塵管的一端均固定連接有對接環(huán)，所述對接環(huán)的內(nèi)腔分別固定連接有沖刷桿、烘烤桿和吸塵桿，所述沖刷桿、烘烤桿和吸塵桿的底部分別設置有清潔刷、吹風口和吸塵器吸口且均通過鉸鏈連接；本實用新型的高氫氣燃氣罩式退火爐爐臺清掃裝置，通過轉桿和固定插桿等結構，可以使對退火爐爐臺進行清潔時更加方便快捷，使其可以快速的將退火爐爐臺進行吸塵，解決了傳統(tǒng)清潔方式效率較慢的問題。

技術領域

本實用新型涉及退火爐爐臺清掃裝置技術領域，具體涉及一種高氫氣燃氣罩式退火爐爐臺清掃裝置。

背景技術

退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝，包括加熱多個半導體晶片。熱處理是針對不同的效果而設計的，可以加熱晶片以激活摻雜劑，將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面，修復注入的損傷，移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底。

目前大部分退火爐在使用時都是放置在退火爐爐臺上，利用退火爐爐臺進行散熱，但由于退火爐爐臺是暴露在外界的，因此其表面會附著大量的灰塵，當灰塵推擠較多時會對退火爐爐臺的散熱性能起到影響，從而需要對退火爐爐臺進行清掃，保持其表面的潔凈；但目前對于退火爐爐臺的清潔大部分只是利用人工清潔，效率低下且費時費力，并且在用水進行刷洗后大多是任其風干，拖慢了生產(chǎn)的進程。

實用新型內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術的不足，本實用新型提供一種高氫氣燃氣罩式退火爐爐臺清掃裝置，包括清潔箱和退火爐爐臺，所述清潔箱內(nèi)腔的右側設置有水箱和烘烤鼓風箱，所述清潔箱左右兩側靠近頂部的位置均固定連接有卡接環(huán)，所述清潔箱內(nèi)腔的左側設置有吸塵箱，所述水箱和烘烤鼓風箱右側靠近底部的位置均固定連接有水管，兩個所述水管和吸塵管的一端均固定連接有對接環(huán)，所述對接環(huán)的內(nèi)腔分別固定連接有沖刷桿、烘烤桿和吸塵桿，所述沖刷桿烘烤桿和吸塵桿的底部分別設置有清潔刷、吹風口和吸塵器吸口且均通過鉸鏈連接，所述清潔刷、吹風口和吸塵器吸口的正面和背面均開設有卡接槽，所述卡接槽內(nèi)活動插接有固定插桿，所述固定插桿的左側一體成型有導向架，所述導向架的頂部設置有推桿，所述推桿的外表面活動套接有夾環(huán)，所述推桿通過球形關節(jié)與導向架活動連接，所述導向架內(nèi)側的左側固定連接有直導輪，所述導向架內(nèi)側的底部設置有萬向導輪，所述萬向導輪的頂部固定連接有調(diào)節(jié)塊，所述調(diào)節(jié)塊的頂部開設有調(diào)節(jié)孔，所述調(diào)節(jié)孔內(nèi)插接有固定插桿，所述調(diào)節(jié)塊的中央貫穿連接有轉桿。

本實用新型的高氫氣燃氣罩式退火爐爐臺清掃裝置，其中導向架外側的右側開設有調(diào)節(jié)槽，所述調(diào)節(jié)槽的側視圖形為半圓環(huán)狀且開口處與調(diào)節(jié)塊上調(diào)節(jié)孔的運動軌跡相對應。

本實用新型的高氫氣燃氣罩式退火爐爐臺清掃裝置，其中固定插桿和轉桿的左側均開設有與之對應的固定槽，所述固定槽有兩個且均與調(diào)節(jié)孔轉動后的位置相對應。

本實用新型的高氫氣燃氣罩式退火爐爐臺清掃裝置，其中吸塵箱和烘烤鼓風箱內(nèi)分別設置有吸塵器和熱鼓風機。

本實用新型的高氫氣燃氣罩式退火爐爐臺清掃裝置，其中清潔箱的頂部固定連接有推拉桿，所述推拉桿的底部固定連接有箱蓋，所述推拉桿的右側設置有注水口，所述注水口貫穿箱蓋且與水箱連通，所述清潔箱底部的四角處均固定連接有滾輪。

本實用新型的高氫氣燃氣罩式退火爐爐臺清掃裝置，其中吸塵管和水管的轉角處均設置有波紋管，所述吸塵管和兩根水管分別與吸塵桿、烘烤桿和沖刷桿內(nèi)部的內(nèi)管密封對接。

本實用新型的高氫氣燃氣罩式退火爐爐臺清掃裝置，其中清潔刷、吹風口和吸塵器吸口左右兩側的卡接槽均與卡接桿相適配。

本實用新型的高氫氣燃氣罩式退火爐爐臺清掃裝置，其中清潔刷的底部沿水平等距離開設有三個出水口，所述出水口上開設有多個細密的小孔。