[實(shí)用新型]大面積原子級(jí)精度激光分子束外延薄膜制備系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920470169.1
• 申請(qǐng)日: 2019-04-09
• 公開（公告）號(hào): CN210163516U
• 公開（公告）日: 2020-03-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱銀燕;葉碧瑩;郁揚(yáng);黃海明;王文彬;高春雷;吳施偉;殷立峰;沈健
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 復(fù)旦大學(xué)
• 主分類號(hào): C23C14/28
• 分類號(hào): C23C14/28;C23C14/50;C23C14/54;C30B23/02;C30B23/06
• 代理公司: 上海正旦專利代理有限公司 31200
• 代理人: 陸飛;王潔平

1.一種大面積原子級(jí)精度激光分子束外延薄膜制備系統(tǒng)，其包括快速進(jìn)樣室、準(zhǔn)分子激光器、主腔、樣品架、靶臺(tái)、樣品加熱組件、透鏡組件、反射式高能電子衍射儀、熒光屏、氣體傳輸組件和機(jī)械泵；其特征在于，快速進(jìn)樣室、樣品架和反射式高能電子衍射儀分別通過法蘭口連接在主腔四周，靶臺(tái)位于主腔底部，并在主腔中軸線上，樣品架最前端位于靶臺(tái)正上方；樣品架的前端設(shè)有樣品槽，樣品槽中心為通孔，樣品槽中插入樣品托；樣品加熱組件位于主腔的正上方，樣品加熱組件包括紅外激光光纖、第二聚焦透鏡和支架，紅外激光光纖和第二聚焦透鏡固定在支架上，紅外激光光纖位于第二聚焦透鏡的上方，且位于第二聚焦透鏡的焦點(diǎn)處；透鏡組件包括第一聚焦透鏡、全反射鏡、兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)以及固定支架；固定支架上安裝滑軌，第一聚焦透鏡和全反射鏡安置在滑軌上，可以沿著固定支架上下移動(dòng)；全反射鏡分別與第一步進(jìn)電機(jī)、第二步進(jìn)電機(jī)相連，使得全反射鏡可分別沿著第一旋轉(zhuǎn)軸和第二旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)，第一旋轉(zhuǎn)軸和第二旋轉(zhuǎn)軸相互正交；透鏡組件通過固定支架固定在樣品加熱組件后方；準(zhǔn)分子激光器發(fā)出的激光通過透鏡組件引入主腔；氣體傳輸組件中包括波紋管和卡套管；反射式高能電子衍射儀通過兩根波紋管分別與快速進(jìn)樣室和機(jī)械泵相連，氧氣通過卡套管連入主腔內(nèi)，卡套管有2根，其中一根指向樣品托中心，另外一根呈環(huán)形，靠近靶臺(tái)表面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大面積原子級(jí)精度激光分子束外延薄膜制備系統(tǒng)，其特征在于，樣品架中還包括面內(nèi)角旋轉(zhuǎn)軸、齒條和齒輪；面內(nèi)角旋轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)由樣品架前端的齒條帶動(dòng)齒輪實(shí)現(xiàn)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大面積原子級(jí)精度激光分子束外延薄膜制備系統(tǒng)，其特征在于，樣品架和樣品托采用耐高溫耐高氧的鎳基合金。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大面積原子級(jí)精度激光分子束外延薄膜制備系統(tǒng)，其特征在于，樣品槽和樣品架之間設(shè)有陶瓷墊片；樣品架前端部分為鏤空結(jié)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大面積原子級(jí)精度激光分子束外延薄膜制備系統(tǒng)，其特征在于，第一步進(jìn)電機(jī)控制全反射鏡沿著第一旋轉(zhuǎn)軸在-10°~10°角度內(nèi)旋轉(zhuǎn)，第二步進(jìn)電機(jī)控制全反射鏡沿著第二旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行0°~360°旋轉(zhuǎn)。