[實用新型]一種用于OLED制造裝置修復的熔射裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201920459500.X | 申請日: | 2019-04-08 |
| 公開(公告)號: | CN209792852U | 公開(公告)日: | 2019-12-17 |
| 發(fā)明(設計)人: | 王宏宇;唐元剛 | 申請(專利權)人: | 成都拓維高科光電科技有限公司 |
| 主分類號: | B23K10/02 | 分類號: | B23K10/02;B23K26/342;B23K26/346 |
| 代理公司: | 51220 成都行之專利代理事務所(普通合伙) | 代理人: | 高俊 |
| 地址: | 610000 四川省成都市中國(四川)自由*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 等離子熔射 工作臺 制造裝置 修復 本實用新型 激光發(fā)生器 熔射裝置 保溫腔 通風槽 正對 保溫系統(tǒng) 負壓風機 工作氣罐 機架上部 機架中部 冷卻系統(tǒng) 兩端封閉 前后移動 顯示設備 修復效率 送粉器 上端 熔射 制造 | ||
1.一種用于OLED制造裝置修復的熔射裝置,包括機架(1),其特征在于:所述機架(1)中部設置有工作臺(2),所述工作臺(2)上端兩側分設置有兩端封閉的通風槽(3)、中部設置有保溫腔(4),所述通風槽(3)槽底與負壓風機(5)相連,所述保溫腔(4)與保溫系統(tǒng)相連;
所述機架(1)上部設置有正對工作臺(2)的等離子熔射槍(6),所述等離子熔射槍(6)分別與工作氣罐(7)、送粉器(8)、冷卻系統(tǒng)相連,所述等離子熔射槍(6)一側固定有正對工作臺(2)的激光發(fā)生器(9),所述等離子熔射槍(6)與激光發(fā)生器(9)可左右、前后移動。
2.根據(jù)權利要求1所述的用于OLED制造裝置修復的熔射裝置,其特征在于:所述冷卻系統(tǒng)為油冷系統(tǒng)包括與冷卻油箱(10)相連的冷卻循環(huán)油泵(11),所述循環(huán)油泵(11)通過第一開關閥(12)與等離子熔射槍(6)冷卻介質(zhì)進口相連,所述等離子熔射槍(6)冷卻介質(zhì)出口與冷卻油箱(10)相連。
3.根據(jù)權利要求2所述的用于OLED制造裝置修復的熔射裝置,其特征在于:所述保溫系統(tǒng)為油熱系統(tǒng)包括與加熱油箱(13)相連的加熱循環(huán)油泵(14),所述加熱循環(huán)油泵(14)依次通過第二開關閥(15)、加熱器(16)與保溫腔(4)進口相連,所述保溫腔(4)出口與加熱油箱(13)相連。
4.根據(jù)權利要求3所述的用于OLED制造裝置修復的熔射裝置,其特征在于:還包括相變儲熱器(17),所述相變儲熱器(17)包括內(nèi)部由相變蓄熱材料填充的殼體(18),所述殼體(18)內(nèi)還布設有熱回收金屬管(19)、熱輸出金屬管(20),所述熱回收金屬管(19)串接在等離子熔射槍(6)與冷卻油箱(10)之間,所述熱輸出金屬管(20)串接在第二開關閥(15)與加熱器(16)之間。
5.根據(jù)權利要求1所述的用于OLED制造裝置修復的熔射裝置,其特征在于:所述工作臺(2)上表面覆蓋有鋁箔層(21),所述鋁箔層(21)正對通風槽(3)槽口留有氣體通道,所述保溫腔(4)頂部由導熱金屬制成并貫穿鋁箔層(21),所述保溫腔(4)外側壁、底部外壁均覆蓋有保溫層(22)。
6.根據(jù)權利要求1所述的用于OLED制造裝置修復的熔射裝置,其特征在于:所述通風槽(3)與負壓風機(5)之間還設置有除塵器(23)。
7.根據(jù)權利要求1~6任意一項所述的用于OLED制造裝置修復的熔射裝置,其特征在于:所述等離子熔射槍(6)出口處還同心固定有拉瓦爾噴管(60)。
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